仕様検出タイプ:デジタル流量計最小流量:-100 SLPM最大流量:250 SLPM電源電圧:5 Vパイプの直径範囲:23.5 → 26 mm接続タイプ:JST B4B-ZR-SM4-TF最大圧力:1.07バール素材:金, ポリウレタン, PPSU, Si, Si3N4, ステンレススチール最低対象温度:10 ℃最高対象温度:+50動作温度 Min:+10℃動作温度 Max:+50℃シリーズ:SFM3200
RoHS指令(10物質対応)対応
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