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スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。0.5sec以内の高速制御が可能です。流量制御値及び積算機能を搭載しています。消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。

マイクロリッターからの微少流量制御が可能です。冷却測定方式のため、低沸点液体材料の精密流体制御が可能です。高粘度液体材料の精密流体制御が可能です。