ICFフランジ付成形ベローズです。内部(真空)、外部(大気)。
用途真空排気ラインの誤差吸収や振動吸収にご使用します。
材質(ベローズ)SUS316L
耐熱温度(℃)250
寿命10000回
使用圧力(MPaG)0.2以下
材質(フランジ)SUS304
仕様Heリーク量:1×10-9Pa・m3
ICFフランジ接続のシリンダー駆動の真空バルブです。
用途排気系の開閉に使用する高真空のバルブです。SUSボディ、SUSベローズにてシール。耐食性にも優れています。
材質(シリンダ)アルミニウム
寿命10万回
材質(ボディ)SUS304
駆動方式単動シリンダ N/C
材質(ベローズ)SUS316L
シリンダポートRC1/8
ICFフランジ付成形ベローズです。(片側回転フランジ付)内部(真空)、外部(大気)。
用途真空排気ラインの誤差吸収や振動吸収にご使用します。
仕様Heリーク量:1×10-9Pa・m3
耐熱温度(℃)250
寿命10000回
材質(フランジ)SUS304
材質(ベローズ)SUS316L
使用圧力(MPaG)0.2以下
フレキチューブの両端にICFフランジを標準で装着しています。内部(真空)、外部(大気)。
用途真空機器の配管接続に便利でかつ柔軟な耐食性を持つフレキシブルチューブです。真空チャンバーと真空ポンプ、真空機器類の配管接続に使用できます。
材質(本体)SUS304
耐熱温度(℃)150
使用圧力(MPaG)0.2以下
仕様Heリーク量:1×10-9Pa・m3
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