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抜群の高速で安定した応答性と長寿命：ON:3.5ms，OFF:2ms、バラツキ精度±1ms(ランプ・サージ電圧保護回路付、供給圧力0.5MPaの値) 準標準仕様：外部ノンリーク、ラッチング、マイナスコモン、ACノーマルオープン、真空 小形でしかも大流量：ボディ幅9.8mm C:0.055 dm³/(s・bar) (標準、高圧タイプ)C:0.14 dm³/(s・bar) (大流量タイプ)

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

・空気圧システムやエアハイドロ回路の制御用。 ・正逆流可能なバランスポペットタイプ。 ・エアオペレート形、外部パイロット電磁形。

・主弁構造がメタルシール。 ・豊富なサイズバリエーション。 ・中・大型シリンダ駆動用。 ・豊富なマニホールドオプション。 ・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ) ・マニホールド型式：VV5FS1，VV5FS2，VV5FS3，VV5FS4，VV5FS5

・主弁構造がメタルシール。 ・豊富なサイズバリエーション。 ・中・大型シリンダ駆動用。 ・豊富なマニホールドオプション。 ・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ) ・マニホールド型式：VV5FS1，VV5FS2，VV5FS3，VV5FS4，VV5FS5

主弁構造がメタルシール。 豊富なサイズバリエーション。 中・大型シリンダ駆動用。 豊富なマニホールドオプション。 制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ) マニホールド型式：VV5FS1，VV5FS2，VV5FS3，VV5FS4，VV5FS5

・主弁構造がメタルシール。 ・豊富なサイズバリエーション。 ・中・大型シリンダ駆動用。 ・豊富なマニホールドオプション。 ・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ) ・マニホールド型式：VV5FS1，VV5FS2，VV5FS3，VV5FS4，VV5FS5

・主弁構造がメタルシール。 ・豊富なサイズバリエーション。 ・中・大型シリンダ駆動用。 ・豊富なマニホールドオプション。 ・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ) ・マニホールド型式：VV5FS1，VV5FS2，VV5FS3，VV5FS4，VV5FS5

・主弁構造が弾性体シール。 ・豊富なサイズバリエーション。 ・中・大型シリンダ駆動用。 ・マニホールド型式：VV5FR2，VV5FR3，VV5FR4，VV5FR5

・3ポート大容量排気形減圧弁 タンク内圧の急速設定 ・エアブロー 定圧供給と駆動 バランスと駆動 ・二段切換設定 多段圧力制御

3ポート大容量排気形減圧弁 タンク内圧の急速設定 エアブロー 定圧供給と駆動 バランスと駆動 二段切換設定 多段圧力制御

・最高使用圧力0.8MPa以下(20℃時) ・コンパクト配管。

・カセットタイプ方式でバルブ交換が容易。 ・スイッチ付バルブによりメンテナンスが安全。 ・ベースレス構造の低背形カセットタイプによる省スペースタイプ。 ・マニホールド型式：SS5Z3

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

・空気、N2、Ar、CO2 ・ノングリース仕様。 ・流量調整弁一体化。 ・小型、軽量、省スペース。

・全高低減：10%減(27mm：従来30mm) ・製品質量：22%削減(298g：従来380g) ・許容運動エネルギー：64%向上(0.09J：従来0.055J)

・全高低減：10%減(27mm：従来30mm) ・製品質量：22%削減(298g：従来380g) ・許容運動エネルギー：64%向上(0.09J：従来0.055J)

・ピストン長円形状により省スペース化が可能。さらに多面方向からシリンダ取付が可能。 ・4方向から小型オートスイッチ取付可。 ・オートスイッチのはみ出しがない。 ・ストローク300mmまで可。 ・オートスイッチ付(MDUシリーズ：MDU、MDUW)

・テーブルとロータリアクチュエータを一体化。 ・角度調整可能。揺動端±5° (ダブル±2.5°) ・テーブル面の振れ精度：0.03mm以内(MSUA) ・接続ポート位置：ボディ側面、軸方向の選択可能。 (スイッチ付の場合ボディ側面のみ) ・オートスイッチ取付位置を任意の場所に移動可能。 ・オートスイッチ付(MDSUシリーズ：MDSUA、MDSUB)

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。

・独自のシール機構による全長の短縮化、および防塵対策により、工作機器 からのワークの取出しや保持に使用可。

・ロングストローク。 ・寸法にバラツキのある大形ワーク把持に対応。 ・ダブルピストンにより把持力大。 ・塵埃対策機構を内蔵。

・カバー形状変更により最大質量16%軽量化。 ・ロッド先端金具、揺動受金具付品番を設定(別手配する手間が省けます)

接液部材質 ボディ/プレート：PEEK ダイヤフラム：EPDM，FKM，Kalrezより選択可 作動寿命1000万回以上(メーカーテスト条件での値)

・ボディ材質：New PFA ・同一形状のN.C./N.O./複動。 ・流体温度100℃に対応。 ・マニホールド型式：LLC2，LLC3，LLC4，LLC5

・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。 ・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。 ・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。 ・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。 常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。 ・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。

・チューブの曲げ、変形に強い チューブサポートにより、サイドロードに強い。 ・チューブサイズの変更が可能 レジューサ方式によりボディの変更なくチューブサイズの交換が可能。 レジューサ方式により継手の種類や在庫の削減が可能。 ・ナット締付けが容易 ナット締付けは、継手ボディの端面までねじ込むだけ。 位置合せのゲージ管理が不要。 台形ねじのため、ナットの斜め入れがない。

電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。 感度：0.2kPa(100kPa仕様) リニアリティ：±1%以内(F.S.) ヒステリシス：0.5%以内(F.S.) 通信：CC-Link， DeviceNet， PROFIBUS DP， RS-232C

電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。 感度：0.2kPa(100kPa仕様) リニアリティ：±1%以内(F.S.) ヒステリシス：0.5%以内(F.S.) 通信：CC-Link， DeviceNet， PROFIBUS DP， RS-232C