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電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。 感度：0.2kPa(100kPa仕様) リニアリティ：±1%以内(F.S.) ヒステリシス：0.5%以内(F.S.) 通信：CC-Link， DeviceNet， PROFIBUS DP， RS-232C

・空気・中真空・水・油・蒸気(温水も可) ・流量20%UP(サイズ1の場合) ・高さ寸法10%Down(サイズ1の場合) ・質量30%Down(サイズ1 Alボディの場合) ・ボディ材質：Al、樹脂、C37、 SUS ・ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。 ・マニホールド型式：パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX21，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX22，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX23

電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。 感度：0.2kPa(100kPa仕様) リニアリティ：±1%以内(F.S.) ヒステリシス：0.5%以内(F.S.) 通信：CC-Link， DeviceNet， PROFIBUS DP， RS-232C

・1台で流量を自動調整。・乾燥空気， N₂， Ar， CO₂。・カラー表示・2画面表示対応。 瞬時流量、流量指令値、積算流量などを一目で確認。・IO-Linkに対応。・レンジアビリティ 100：1。・1台で幅広い流量の制御が可能

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

・丸形シリンダにバルブを取付けたシリンダ。 ・また一部の機種にはスピードコントローラを内蔵。 ・速度調整を容易にしたバルブ付シリンダ。 ・オートスイッチ付

・丸形シリンダにバルブを取付けたシリンダ。 ・また一部の機種にはスピードコントローラを内蔵。 ・速度調整を容易にしたバルブ付シリンダ。 ・オートスイッチ付