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スペースを取らないコンパクトサイズ 低流量域での速度制御が容易 等質の速度制御が可能 ニードル弁抜け止め機構

小型でマイクロスイッチ相当 配管方向の選択が可能 横配管型/下配管型 横配管型で取付方法の選択が可能 横取付/仮面取付ネジ付/専用ブラケット 豊富な種類のアクチュエータ

薄いシート・ガラス基板・柔らかいワーク等の吸着固定に適応吸着部表面にあいている多数の微細な空孔より吸引するため吸着時ワークの変形がありません 高い加工精度 大きな吸着力

・最高使用圧力1.0MPa以下(20℃時) ・最高使用温度：260℃(条件により異なります)

小型でマイクロスイッチ相当 配管方向の選択が可能 横配管型/下配管型 横配管型で取付方法の選択が可能 横取付/仮面取付ネジ付/専用ブラケット 豊富な種類のアクチュエータ

・様々なオールエアシステムに対応するための豊富なバリエーション。 ・小形で小さな取付けスペース。

供給圧力の影響を受けない一定の操作力 独自のバランスポペット弁構造により、 エア圧力が高い場合でも、低圧時と同じ力で操作することができます。 耐衝撃性樹脂を採用 本体ボディには耐衝撃性樹脂を採用。 2mからの落下試験、人による踏みつけ試験において、 割れ、欠け、破損などの不適合なし

・柔軟。 ・最高使用圧力0.8MPa以下(20℃時) ・可動部配管用。

・チューブの曲げ、変形に強い チューブサポートにより、サイドロードに強い。 ・チューブサイズの変更が可能 レジューサ方式によりボディの変更なくチューブサイズの交換が可能。 レジューサ方式により継手の種類や在庫の削減が可能。 ・ナット締付けが容易 ナット締付けは、継手ボディの端面までねじ込むだけ。 位置合せのゲージ管理が不要。 台形ねじのため、ナットの斜め入れがない。

電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。 感度：0.2kPa(100kPa仕様) リニアリティ：±1%以内(F.S.) ヒステリシス：0.5%以内(F.S.) 通信：CC-Link， DeviceNet， PROFIBUS DP， RS-232C

・3ポート大容量排気形減圧弁 タンク内圧の急速設定 ・エアブロー 定圧供給と駆動 バランスと駆動 ・二段切換設定 多段圧力制御

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

3ポート大容量排気形減圧弁 タンク内圧の急速設定 エアブロー 定圧供給と駆動 バランスと駆動 二段切換設定 多段圧力制御

・空気・水・油用。 ・マニホールド型式：パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VXA21，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VXA22

・節電回路により消費電力低減 保持の無駄な電力を削減することにより、消費電力を標準に対して 約1/3に低減しました。 (定格電圧DC24V印加時、40msを超える通電時間で効果を示します。) ・全波整流器内蔵(ACの場合) ●うなり音低減 全波整流器によってDC化することにより、大幅にうなり音を低減。 ●皮相電力低減 従来5.6VA→1.55VA ・パイロット弁にストレーナ内蔵 突発的な異物によるトラブル防止。 注)一次側には必ずエアフィルタを設置してください。

・節電回路により消費電力低減 保持の無駄な電力を削減することにより、消費電力を標準に対して 約1/3に低減しました。 (定格電圧DC24V印加時、40msを超える通電時間で効果を示します。) ・全波整流器内蔵(ACの場合) ●うなり音低減 全波整流器によってDC化することにより、大幅にうなり音を低減。 ●皮相電力低減 従来5.6VA→1.55VA ・パイロット弁にストレーナ内蔵 突発的な異物によるトラブル防止。 注)一次側には必ずエアフィルタを設置してください。

・耐食性向上 特殊磁性材採用 ・消費電力低減(DC仕様) パイロット形2ポートソレノイドバルブ VX31:6W→4.5W パイロット形2ポートソレノイドバルブ VX32:8W→7W パイロット形2ポートソレノイドバルブ VX33:11.5W→10.5W ・保護等級：IP65相当 ・静音構造 特殊構造により作動時の金属音を低減。(DC仕様) ・難燃性 UL94パイロット形2ポートソレノイドバルブ V-0準拠 難燃性モールドコイル材料 ・メンテナンス性向上 ナット方式によりメンテナンスが容易。

電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。 感度：0.2kPa(100kPa仕様) リニアリティ：±1%以内(F.S.) ヒステリシス：0.5%以内(F.S.) 通信：CC-Link， DeviceNet， PROFIBUS DP， RS-232C

・主弁構造が弾性体シール。 ・マニホールド型式：VV5Z3，VV5Z5

・省電力 消費電力：0.4W(標準) ・バルブの増減連が容易 ・ワンビス取付によりメンテナンス工数削減 ・ワンタッチ管継手交換が、クリップ式で簡単 ・コネクタ取出し方向がワンプッシュで変更可能 ・4位置デュアル3ポート弁 ・背圧防止弁内蔵(オプション) ・マニホールド型式：SS5Q13，SS5Q14，SS5Q23，SS5Q24

電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。 感度：0.2kPa(100kPa仕様) リニアリティ：±1%以内(F.S.) ヒステリシス：0.5%以内(F.S.) 通信：CC-Link， DeviceNet， PROFIBUS DP， RS-232C

電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。 感度：0.2kPa(100kPa仕様) リニアリティ：±1%以内(F.S.) ヒステリシス：0.5%以内(F.S.) 通信：CC-Link， DeviceNet， PROFIBUS DP， RS-232C