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中空糸膜の採用で簡単手軽に乾燥エアの供給が可能。 ノンフロン。 電源不要。 低露点(60℃)対応。 無振動、無排熱。

中空糸膜の採用で簡単手軽に乾燥エアの供給が可能。 ノンフロン。 電源不要。 低露点(60℃)対応。 無振動、無排熱。

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能

1個のスイッチで最大3点の位置判別が可能。スイッチの取付・設定の工数削減。エアチャックボディ端面からの出っ張りがなし。ツール(アタッチメント)の摩耗の見える化。生産性向上

エア源の無い環境下で圧縮空気を供給! 1台で正圧または真空圧(真空ポンプ)として使用可能 小型・軽量・オイルフリー・静音

さまざまなISO水分等級に対応。モジュラ接続可能。ノンフロン。電源不要。無振動無排熱。省エネに貢献。 圧力降下：最大61%低減。 出口空気流量：最大25%向上。 パージ率：約14%

・コネクタ接続。・スイッチ出力

主弁構造がメタルシール。 豊富なサイズバリエーション。 中・大型シリンダ駆動用。 豊富なマニホールドオプション。 制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ) マニホールド型式：VV5FS1，VV5FS2，VV5FS3，VV5FS4，VV5FS5

・主弁構造がメタルシール。 ・豊富なサイズバリエーション。 ・中・大型シリンダ駆動用。 ・豊富なマニホールドオプション。 ・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ) ・マニホールド型式：VV5FS1，VV5FS2，VV5FS3，VV5FS4，VV5FS5

・空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。 ・レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。 ・コンパクト W377×H615×D500、40kg ・タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。 ・自己診断機能。 ・海外輸出用装置に最適(単相AC200～230V、単相AC100V，115V) ・CEマーキング、ULに適合。

・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・主弁構造がメタルシール。 ・豊富なサイズバリエーション。 ・中・大型シリンダ駆動用。 ・豊富なマニホールドオプション。 ・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ) ・マニホールド型式：VV5FS1，VV5FS2，VV5FS3，VV5FS4，VV5FS5