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流量特性の向上(最大88%向上) 省エネ(ハンドル切換え時の吹き抜けエアゼロ 安全対策(OSHA規格対応)

・小型で最大出力16点 ・多種の通信ネットワークに対応

・保護構造：IP65 ・難燃性：UL94V-0準拠 難燃性モールドコイル材料 ・静音構造 ゴムダンパ採用により金属音低減。 ・配管バリエーション ねじ配管、ワンタッチ管継手、フランジ配管 ・クリアランス：ダンパおよびクリアランスを設けることで、ON時(弁開時)鉄心の衝突音を低減しました。クリアランスがあるため、 油などの粘性の高い流体を使用時、鉄心の固着がなくOFF時(弁閉時)の応答性が向上しました。 ・消費電力：4.5W(VXD23～25)7W(VXD26～27)10.5W(VXD28～29) ・鉄心の耐食性向上

削減される配管工数とコスト アクチュエータヘ直接ねじ込み装着ですから、継手、チューブが省略でき、配管の工数とコストが削減できます。 自由に設定できる配管方向 スイベルタイプですから取付後配管方向を自由に設定できます。 低流量域での速度制御が容易 等質の速度制御が可能 ニードル弁抜け止め機構

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・削減される配管工数とコスト アクチュエータヘ直接ねじ込み装着ですから、継手、チューブが省略でき、 配管の工数とコストが削減できます。 ・自由に設定できる配管方向 スイベルタイプですから取付後配管方向を自由に設定できます。 ・低流量域での速度制御が容易 ・等質の速度制御が可能 ・ニードル弁抜け止め機構

・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・ひとつのスピードコントローラで2方向の流量制御(メータイン・メータアウト)が可能。 ・シリンダの飛びだしを防止。 ・単動シリンダの速度制御。

DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。冷凍機、ポンプのモータ回転数をお客様装置側負荷に応じてインバータ制御

・小型で最大出力16点 ・多種の通信ネットワークに対応

・プッシュロック式によりニードルロックの作業性向上 ・ハンドルの大型化 ・チューブ着脱性向上 挿入力Max.30%(8N)低減 離脱率Max.20%(5N)低減※ ※チューブ引抜強度は、現行品と同等レベルを確保 ・無電解ニッケルめっき仕様を標準化 ・360°/自由に配管が可能(ユニバーサルタイプ)

・等質の速度制御が可能 ・低流量域での速度制御が容易 ・ニードル弁抜け止め機

・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21

・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21