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流量特性の向上(最大88%向上) 省エネ(ハンドル切換え時の吹き抜けエアゼロ 安全対策(OSHA規格対応)

・小型で最大出力16点 ・多種の通信ネットワークに対応

削減される配管工数とコスト アクチュエータヘ直接ねじ込み装着ですから、継手、チューブが省略でき、配管の工数とコストが削減できます。 自由に設定できる配管方向 スイベルタイプですから取付後配管方向を自由に設定できます。 低流量域での速度制御が容易 等質の速度制御が可能 ニードル弁抜け止め機構

・削減される配管工数とコスト アクチュエータヘ直接ねじ込み装着ですから、継手、チューブが省略でき、 配管の工数とコストが削減できます。 ・自由に設定できる配管方向 スイベルタイプですから取付後配管方向を自由に設定できます。 ・低流量域での速度制御が容易 ・等質の速度制御が可能 ・ニードル弁抜け止め機構

・ひとつのスピードコントローラで2方向の流量制御(メータイン・メータアウト)が可能。 ・シリンダの飛びだしを防止。 ・単動シリンダの速度制御。

・等質の速度制御が可能 ・低流量域での速度制御が容易 ・ニードル弁抜け止め機

DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。冷凍機、ポンプのモータ回転数をお客様装置側負荷に応じてインバータ制御

●流量特性の向上：最大88%向上●省エネ：ハンドル切換え時の吹き抜けエアゼロ●安全対策：不用意な給気による事故を未然に防止●圧力降下低減による省エネ

・小型で最大出力16点 ・多種の通信ネットワークに対応

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・プッシュロック式によりニードルロックの作業性向上 ・ハンドルの大型化 ・チューブ着脱性向上 挿入力Max.30%(8N)低減 離脱率Max.20%(5N)低減※ ※チューブ引抜強度は、現行品と同等レベルを確保 ・無電解ニッケルめっき仕様を標準化 ・360°/自由に配管が可能(ユニバーサルタイプ)

・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21

・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21

・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21

・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21

・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21

・ワンサイドソレノイドと管継手を全て一面に配置し取付け3方向をフリーとした 省スペース設計。 ・ノンビス、ワンクランプ構造により組替え工数削減。 ・豊富なオプションパーツ(背圧防止弁、2連マッチング継手など) ・豊富な集中配線方式。 ・4位置デュアル3ポート弁。 ・マニホールド型式：VV5Q11，VV5Q21

・基本シリンダとガイドロッドをコンパクトに一体化。 ・耐横荷重・高精度回り止めを実現した直線移動ユニット。