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小型、軽量。 使用流体温度：-5～150℃ 材質：金属部SUS316、シール部特殊FKM ノングリース、蒸気使用可。食品衛生法適合。

コンパクトで大きなバルブ容量 外形寸法(W×H×D)…55×118×53 (グロメット) C：6.1dm3/(s・bar) {Rc3/8(流路2→3)の場合} 1つで6つのバルブ機能 (ユニバーサルポーティングタイプ) 配管ポートの選択で6つのバルブ機能が得ら れます。(N.C.仕様、N.O.仕様、デバイダ仕 様、セレクタ仕様など自由に使用可能) 真空使用が可能 -101.2kPa (真空仕様形：VT/VO325V)

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。