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ユニバーサルポーティングタイプ。 真空使用可能。 マニホールド型式：VVT320，VVT321

保護構造：IP65 難燃性：UL94V-0準拠 難燃性モールドコイル材料 静音構造 ゴムダンパ採用により金属音低減。 配管バリエーション ねじ配管、ワンタッチ管継手、フランジ配管 クリアランス：ダンパおよびクリアランスを設けることで、ON時(弁開時)鉄心の衝突音を低減しました。 クリアランスがあるため、油などの粘性の高い流体を使用時、鉄心の固着がなくOFF時(弁閉時)の応答性が向上しました。 消費電力：4.5W(VXD23～25)7W(VXD26～27)10.5W(VXD28～29) 鉄心の耐食性向上

・耐食性向上 特殊磁性材採用 ・消費電力低減((DC仕様) VXZ22:8W→7W VXZ23:11.5W→10.5W ・難燃性 UL94V-0準拠 難燃性モールドコイル材料 ・保護等級： ：IP65 ・メンテナンス性向上 ナット方式によりメンテナンスが容易。 ・静音構造 特殊構造により作動時の 金属音を低減。(DC仕様)

主弁構造が弾性体シール。 マニホールド型式：VV5Z3，VV5Z5

・主弁構造が弾性体シール。 ・マニホールド型式：VV5Z3，VV5Z5

・ユニバーサルポーティング N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能 C：0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合) ・コンパクト/幅18×長63(mm) ・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ) ・真空使用可能:-101.2kPa ・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。

・ユニバーサルポーティング N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能 C：0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合) ・コンパクト/幅18×長63(mm) ・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ) ・真空使用可能:-101.2kPa ・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。

・ユニバーサルポーティング N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能 C：0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合) ・コンパクト/幅18×長63(mm) ・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ) ・真空使用可能:-101.2kPa ・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。

・空気・中真空・水・油・蒸気(温水も可) ・流量20%UP(サイズ1の場合) ・高さ寸法10%Down(サイズ1の場合) ・質量30%Down(サイズ1 Alボディの場合) ・ボディ材質：Al、樹脂、C37、 SUS ・ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。 ・マニホールド型式：パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX21，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX22，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX23

・豊富な機種で幅広い用途に対応できます。 ・パッド形状/平形、平形リブ付、薄形、薄形リブ付、深形、ベロウ形 ・パッド径/Φ2～Φ50

・ユニバーサルポーティング N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能 C：0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合) ・コンパクト/幅18×長63(mm) ・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ) ・真空使用可能:-101.2kPa ・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。

・ユニバーサルポーティング N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能 C：0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合) ・コンパクト/幅18×長63(mm) ・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ) ・真空使用可能:-101.2kPa ・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。

・空気・中真空・水・油・蒸気(温水も可) ・流量20%UP(サイズ1の場合) ・高さ寸法10%Down(サイズ1の場合) ・質量30%Down(サイズ1 Alボディの場合) ・ボディ材質：Al、樹脂、C37、 SUS ・ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。 ・マニホールド型式：パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX21，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX22，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX23

3ポート大容量排気形減圧弁 タンク内圧の急速設定 エアブロー 定圧供給と駆動 バランスと駆動 二段切換設定 多段圧力制御

・高寿命・省工数でコストダウン 長寿命でメンテナンス工数1/3以下。 最大作動回数の飛躍的な増加により、交換回数を削減。 ランニングコストの軽減を実現。 ・ソフト停止 滑らかな衝撃吸収特性を実現。終端での衝撃を緩和。 衝撃吸収特性の向上により、耐久性を向上。 同時に様々なワークに対応可能。

1つのバルブでさまざまなバルブ機能。 (ユニバーサルポーティんぐタイプ) N.C.仕様、N.O.仕様、デバイダ仕様、セレクタ仕様など。 低濃度オゾン対策品。 従来品との取付寸法互換性あり。

・シリンダの全範囲で計測可能。 ・シリンダストローク内の任意の位置を原点にできます。 基準面にシリンダのロッドを押し当ててカウンタを リセットすると、その位置が原点になります。 ・液体(水、油、クーラント液等)のかかる環境で使用可能。

・シリンダの全範囲で計測可能。 ・シリンダストローク内の任意の位置を原点にできます。 基準面にシリンダのロッドを押し当ててカウンタを リセットすると、その位置が原点になります。 ・液体(水、油、クーラント液等)のかかる環境で使用可能。

・ダブルガイドタイプは回転機構部にガイドローラを採用し不回転精度を向上。

・ユニバーサルポーティング N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能 C：0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合) ・コンパクト/幅18×長63(mm) ・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ) ・真空使用可能:-101.2kPa ・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。

・主弁構造が弾性体シール。 ・マニホールド型式：VV5Z3，VV5Z5

・大形シリンダの中間停止・非常停止 ・セレクタ・デバイダ弁としても使えるユニバーサル・ポーティング ・真空吸着と真空破壊に ・複動シリンダの挙動制御に

・大形シリンダの中間停止・非常停止 ・セレクタ・デバイダ弁としても使えるユニバーサル・ポーティング ・真空吸着と真空破壊に ・複動シリンダの挙動制御に

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・薄形シリンダCQS、CQ2シリーズにエアクッション機構を採用し、 全長が+2.5mm～13mmのみの延長で対応可能。 ・吸収可能な許容運動エネルギーが約3倍向上(CQS、CQ2のラバークッションと比較) ・コンパクトフート形金具を新たに追加 ・オートスイッチ付(RDQシリーズ：RDQ)

・シリンダの全範囲で計測可能。 ・シリンダストローク内の任意の位置を原点にできます。 基準面にシリンダのロッドを押し当ててカウンタを リセットすると、その位置が原点になります。 ・液体(水、油、クーラント液等)のかかる環境で使用可能。

・シリンダの全範囲で計測可能。 ・シリンダストローク内の任意の位置を原点にできます。 基準面にシリンダのロッドを押し当ててカウンタを リセットすると、その位置が原点になります。 ・液体(水、油、クーラント液等)のかかる環境で使用可能。

・シリンダの全範囲で計測可能。 ・シリンダストローク内の任意の位置を原点にできます。 基準面にシリンダのロッドを押し当ててカウンタを リセットすると、その位置が原点になります。 ・液体(水、油、クーラント液等)のかかる環境で使用可能。

・シリンダの全範囲で計測可能。 ・シリンダストローク内の任意の位置を原点にできます。 基準面にシリンダのロッドを押し当ててカウンタを リセットすると、その位置が原点になります。 ・液体(水、油、クーラント液等)のかかる環境で使用可能。

・シリンダの全範囲で計測可能。 ・シリンダストローク内の任意の位置を原点にできます。 基準面にシリンダのロッドを押し当ててカウンタを リセットすると、その位置が原点になります。 ・液体(水、油、クーラント液等)のかかる環境で使用可能。

・シリンダの全範囲で計測可能。 ・シリンダストローク内の任意の位置を原点にできます。 基準面にシリンダのロッドを押し当ててカウンタを リセットすると、その位置が原点になります。 ・液体(水、油、クーラント液等)のかかる環境で使用可能。