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ユニバーサルポーティングタイプ。 真空使用可能。 マニホールド型式：VVT320，VVT321

保護構造：IP65 難燃性：UL94V-0準拠 難燃性モールドコイル材料 静音構造 ゴムダンパ採用により金属音低減。 配管バリエーション ねじ配管、ワンタッチ管継手、フランジ配管 クリアランス：ダンパおよびクリアランスを設けることで、ON時(弁開時)鉄心の衝突音を低減しました。 クリアランスがあるため、油などの粘性の高い流体を使用時、鉄心の固着がなくOFF時(弁閉時)の応答性が向上しました。 消費電力：4.5W(VXD23～25)7W(VXD26～27)10.5W(VXD28～29) 鉄心の耐食性向上

・耐食性向上 特殊磁性材採用 ・消費電力低減((DC仕様) VXZ22:8W→7W VXZ23:11.5W→10.5W ・難燃性 UL94V-0準拠 難燃性モールドコイル材料 ・保護等級： ：IP65 ・メンテナンス性向上 ナット方式によりメンテナンスが容易。 ・静音構造 特殊構造により作動時の 金属音を低減。(DC仕様)

・豊富な機種で幅広い用途に対応できます。 ・パッド形状/平形、平形リブ付、薄形、薄形リブ付、深形、ベロウ形 ・パッド径/Φ2～Φ50

・空気・中真空・水・油・蒸気(温水も可) ・流量20%UP(サイズ1の場合) ・高さ寸法10%Down(サイズ1の場合) ・質量30%Down(サイズ1 Alボディの場合) ・ボディ材質：Al、樹脂、C37、 SUS ・ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。 ・マニホールド型式：パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX21，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX22，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX23

・ユニバーサルポーティング N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能 C：0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合) ・コンパクト/幅18×長63(mm) ・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ) ・真空使用可能:-101.2kPa ・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。

・空気・中真空・水・油・蒸気(温水も可) ・流量20%UP(サイズ1の場合) ・高さ寸法10%Down(サイズ1の場合) ・質量30%Down(サイズ1 Alボディの場合) ・ボディ材質：Al、樹脂、C37、 SUS ・ワンタッチ管継手付(樹脂ボディ)を用意。 ・マニホールド型式：パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX21，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX22，パイロット形2ポートソレノイドバルブ Vパイロット形2ポートソレノイドバルブ VX23

・主弁構造が弾性体シール。 ・マニホールド型式：VV5Z3，VV5Z5

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

主弁構造が弾性体シール。 マニホールド型式：VV5Z3，VV5Z5

・ユニバーサルポーティング N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能 C：0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合) ・コンパクト/幅18×長63(mm) ・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ) ・真空使用可能:-101.2kPa ・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。

・高寿命・省工数でコストダウン 長寿命でメンテナンス工数1/3以下。 最大作動回数の飛躍的な増加により、交換回数を削減。 ランニングコストの軽減を実現。 ・ソフト停止 滑らかな衝撃吸収特性を実現。終端での衝撃を緩和。 衝撃吸収特性の向上により、耐久性を向上。 同時に様々なワークに対応可能。

・ユニバーサルポーティング N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能 C：0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合) ・コンパクト/幅18×長63(mm) ・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ) ・真空使用可能:-101.2kPa ・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。

・ユニバーサルポーティング N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能 C：0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合) ・コンパクト/幅18×長63(mm) ・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ) ・真空使用可能:-101.2kPa ・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。

・ユニバーサルポーティング N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能 C：0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合) ・コンパクト/幅18×長63(mm) ・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ) ・真空使用可能:-101.2kPa ・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。

・ユニバーサルポーティング N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能 C：0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合) ・コンパクト/幅18×長63(mm) ・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ) ・真空使用可能:-101.2kPa ・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。

・主弁構造が弾性体シール。 ・マニホールド型式：VV5Z3，VV5Z5

1つのバルブでさまざまなバルブ機能。 (ユニバーサルポーティんぐタイプ) N.C.仕様、N.O.仕様、デバイダ仕様、セレクタ仕様など。 低濃度オゾン対策品。 従来品との取付寸法互換性あり。

・ユニバーサルポーティング N.C.弁、N.O.弁、デバイダ弁、セレクタ弁など自由に使用可能 C：0.80dm3/(s・bar):(流路2→3の場合) ・コンパクト/幅18×長63(mm) ・低消費電力:4WDC(標準)2WDC(低ワットタイプ) ・真空使用可能:-101.2kPa ・銅系不可対策済:接流体部に銅系がなく、標準品がそのまま使用。