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乾燥空気、N2、Ar、CO2 1台で幅広い流量の計測が可能 レンジアビリティ 100：1、最小設定単位 0.01L/min 耐ドレン・耐異物性向上 小型・軽量 質量：27.3%低減(55g→40g) 低消費電流：35mA以下 ノングリース IO-Link対応

・中間停止や非常停止・落下防止に適したロック付シリンダ。 (両方向ロック) ※CL1は片方向ロック ・オートスイッチ付(CDL□シリーズ：CDLJ2、CDLM2、CDLG1、CDL1)

電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。 感度：0.2kPa(100kPa仕様) リニアリティ：±1%以内(F.S.) ヒステリシス：0.5%以内(F.S.) 通信：CC-Link， DeviceNet， PROFIBUS DP， RS-232C

複動・片ロッド、取付支持形式：基本形、オートスイッチタイプ：有接点 ・ロッドカバー、ヘッドカバー形状変更により質量削減。質量15%削減(Φ63-50ストローク) ・エクッション制御が容易

・配置条件に応じた自由な選択が可能。 ハンドル位置：上、正面、下 配管方向：上、下 ワンタッチ管継手種類：ストレート、エルボ ・ワンタッチ管継手種類、サイズの変更が可能。 ・逆流機能標準対応。 ・デジタル圧力スイッチ対応。