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・特殊ダイヤフラム構造によって、ゆっくりとした弁の開閉が行われ、液のマイクロバブルの発生を抑えます。 ・液が流れやすくデッドスペースをなくした本体設計に加え、継手一体型でねじ接続部の液残溜を極少とし、優れた置換特性を発揮します。 ・酸・アルカリ・超純水など薬液に対応。 ・ガイドリングを設けてピストンの横振れによるシート面のズレを防止。 常に一定のあたり面で漏れを防ぎ、低発塵・長寿命となります。 ・ダイヤフラムの動きをバッファでサポートし、ダイヤフラムの変形・破損を防ぎ、背圧に強く長寿命を実現しました。

・一体型、モニタ分離型を用意。 ・スイッチ出力、積算パルス出力、アナログ出力。 ・積算流量、瞬時流量切換可能。 ・IP65

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。

リニアガイド採用で高剛性・高精度。 防塵、防滴構造。

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。 ・ダストカバーの材質選択可。

複動・片ロッド、取付支持形式：基本形、オートスイッチタイプ：有接点 ・ロッドカバー、ヘッドカバー形状変更により質量削減。質量15%削減(Φ63-50ストローク) ・エクッション制御が容易

複動・片ロッド、取付支持形式：基本形、オートスイッチタイプ：有接点 ・ロッドカバー、ヘッドカバー形状変更により質量削減。質量15%削減(Φ63-50ストローク) ・エクッション制御が容易

・ロータリアクチュエータを駆動源としたため高さ方向の小型化を実現。 ・繰り返し精度 ±0.01mm ・クリーンルームクラス10に対応可。 ・オートスイッチ付(MDHR2シリーズ：MDHR2)

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDBM2シリーズ)

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、 CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、エンドロックシリンダ(オートスイッチ付) CDBM2)

・中間停止や非常停止・落下防止に適したロック付シリンダ。(両方向ロック) ・耐強磁界2色表示式無接点オートスイッチD-P3DW□シリーズ取付可能。 ・オートスイッチ付(CDLA2シリーズ：CDLA2)

・中間停止や非常停止・落下防止に適したロック付シリンダ。(両方向ロック) ・耐強磁界2色表示式無接点オートスイッチD-P3DW□シリーズ取付可能。 ・オートスイッチ付(CDLA2シリーズ：CDLA2)

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDBM2シリーズ)

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。 ・ダストカバーの材質選択可。

・ロッドカバー、ヘッドカバー形状変更により質量削減(最大15%削減)。 ・エアクッション制御が容易クッションバルブ調整回転数を1回転から3回転に増加。 ・小型オートスイッチから耐強磁界オートスイッチまで取付可能。 ・設置状況に合った取付支持が可能、取付け自由度の向上。

・ロッドカバー、ヘッドカバー形状変更により質量削減(最大15%削減)。 ・エアクッション制御が容易クッションバルブ調整回転数を1回転から3回転に増加。 ・小型オートスイッチから耐強磁界オートスイッチまで取付可能。 ・設置状況に合った取付支持が可能、取付け自由度の向上。