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クリーンルーム用エキゾーストクリーナ (AMP~) SMCクリーンルーム用エキゾーストクリーナ (AMP~)SMC
8,398税込9,238
1個
3日以内出荷から11日以内出荷
・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ。
ZM - 真空エジェクタ バルブ・スイッチ付/単体(ZM101) SMCZM - 真空エジェクタ バルブ・スイッチ付/単体(ZM101)SMC
11,980税込13,178
1個
4日以内出荷から11日以内出荷
バルブ・スイッチをユニット化 マニホールド化可能 最大吸収流量40%UP 最高真空圧力 -84kPa
ZM - 真空エジェクタ バルブ・スイッチ付/単体(ZM071) SMCZM - 真空エジェクタ バルブ・スイッチ付/単体(ZM071)SMC
24,980税込27,478
1個
4日以内出荷から9日以内出荷
バルブ・スイッチをユニット化 マニホールド化可能 最大吸収流量40%UP 最高真空圧力 -84kPa
25A Series(25A-AM) SMC25A Series(25A-AM)SMC
11,980税込13,178
1個
4日以内出荷から9日以内出荷
AMP - クリーンルーム用エキゾーストクリーナ(AMP) SMCAMP - クリーンルーム用エキゾーストクリーナ(AMP)SMC
10,980税込12,078
1個
3日以内出荷から11日以内出荷
XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ SMCXGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブSMC
549,800税込604,780
1個
11日以内出荷から90日以内出荷
長寿命:300万回(常温時) 発塵量:1/5以下に低減(従来品比) メンテナンス性向上 容易なベローズ交換 トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド) 安全対策 メカ式エンドロック機構採用
適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応開口窓寸法(mm)50X336軸数とシール形式1軸ベローズ
クリーンルーム用 エキゾーストクリーナ AMP SMCクリーンルーム用 エキゾーストクリーナ AMPSMC
10,980税込12,078
1個
7日以内出荷から9日以内出荷
・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ ・排気エア清浄度:ISO Class5(クラス100 Fed.Std.209D)相当 ・安心の2段エレメント構造 第1エレメント油飽和後、2次側に流出する油を第2エレメント捕集。 外部への再飛散を一定期間防止します。
ZM - 真空エジェクタ バルブ・スイッチ付/単体(ZM105) SMCZM - 真空エジェクタ バルブ・スイッチ付/単体(ZM105)SMC
11,980税込13,178
1個
9日以内出荷
バルブ・スイッチをユニット化 マニホールド化可能 最大吸収流量40%UP 最高真空圧力-84kPa
ボディ型式マニホールド:個別供給バルブ付搭載パイロット弁DC1Wタイプ(ランプ付:1.05W)
ZM - 真空エジェクタ バルブ・スイッチ付/単体(ZM075) SMCZM - 真空エジェクタ バルブ・スイッチ付/単体(ZM075)SMC
11,980税込13,178
1個
9日以内出荷
バルブ・スイッチをユニット化 マニホールド化可能 最大吸収流量40%UP 最高真空圧力-84kPa
ボディ型式マニホールド:個別供給バルブ付搭載パイロット弁DC1Wタイプ(ランプ付:1.05W)
クリーンルーム用 エキゾーストクリーナ AMPシリーズ SMCクリーンルーム用 エキゾーストクリーナ AMPシリーズSMC
14,980税込16,478
1個
9日以内出荷
ねじの種類(F) G付属品(B) ブラケット付流れ方向(RT) 右→下 & 目詰まりチェッカ付
低GWP冷媒対応 冷凍式サーモチラー インバータタイプ 空冷200V仕様 HRSHF Series SMC低GWP冷媒対応 冷凍式サーモチラー インバータタイプ 空冷200V仕様 HRSHF SeriesSMC
4,198,000税込4,617,800
1個
60日以内出荷
・各国の冷媒規制に対応( R32冷媒)GWP:675・省エネ性能UP(消費電力削減・t-CO2/年削減量)・温度安定性±0.1℃・冷却能力UPオプション(HRSHF200-A-20オプションP選択時)・既存機種からのスムーズな切り替えが可能・従来と同一の操作性・冷却能力15kW~30kWまでラインナップ
電源三相AC200V(50Hz) 三相AC200~230V(50Hz)冷却方式空冷冷凍式使用冷媒R32(HFC,GWP:675)設定温度(℃)5~35温度制御方式PID制御使用周囲温度(℃)-20~45 (標高:3000m未満)RoHS指令(10物質対応)対応防水性IPX4安定性±0.1℃
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