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クリーンルーム用 エキゾーストクリーナ AMP
SMC￥10,980～税込￥12,078～1個7日以内出荷から9日以内出荷・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ ・排気エア清浄度:ISO Class5(クラス100 Fed.Std.209D)相当 ・安心の2段エレメント構造 第1エレメント油飽和後、2次側に流出する油を第2エレメント捕集。 外部への再飛散を一定期間防止します。
クリーンルーム用 エキゾーストクリーナ AMPシリーズ
SMC￥14,980～税込￥16,478～1個9日以内出荷ねじの種類(F) G付属品(B) ブラケット付流れ方向(RT) 右→下 & 目詰まりチェッカ付
ZM - 真空エジェクタ バルブ・スイッチ付/単体(ZM101)
SMC￥11,980税込￥13,1781個4日以内出荷から11日以内出荷バルブ・スイッチをユニット化 マニホールド化可能 最大吸収流量40%UP 最高真空圧力 -84kPaZM - 真空エジェクタ バルブ・スイッチ付/単体(ZM071)
SMC￥24,980税込￥27,4781個4日以内出荷から9日以内出荷バルブ・スイッチをユニット化 マニホールド化可能 最大吸収流量40%UP 最高真空圧力 -84kPaZM - 真空エジェクタ バルブ・スイッチ付/単体(ZM105)
SMC￥11,980税込￥13,1781個9日以内出荷バルブ・スイッチをユニット化 マニホールド化可能 最大吸収流量40%UP 最高真空圧力-84kPaボディ型式マニホールド：個別供給バルブ付搭載パイロット弁DC1Wタイプ(ランプ付：1.05W)ZM - 真空エジェクタ バルブ・スイッチ付/単体(ZM075)
SMC￥11,980税込￥13,1781個9日以内出荷バルブ・スイッチをユニット化 マニホールド化可能 最大吸収流量40%UP 最高真空圧力-84kPaボディ型式マニホールド：個別供給バルブ付搭載パイロット弁DC1Wタイプ(ランプ付：1.05W)
XGTP - 300mmウエバ対応平行シール型スリットバルブ
SMC￥549,800～税込￥604,780～1個11日以内出荷から90日以内出荷長寿命：300万回(常温時) 発塵量：1/5以下に低減(従来品比) メンテナンス性向上 容易なベローズ交換 トップアクセスからのゲート交換が可能(オーダーメイド) 安全対策 メカ式エンドロック機構採用適合ウェハー寸法(Φmm)300mmウエハ対応開口窓寸法(mm)50X336軸数とシール形式1軸ベローズ
低GWP冷媒対応 冷凍式サーモチラー インバータタイプ 空冷200V仕様 HRSHF Series
SMC￥4,198,000税込￥4,617,8001個60日以内出荷・各国の冷媒規制に対応( R32冷媒)GWP：675。・省エネ性能UP(消費電力削減・t-CO2/年削減量)。・温度安定性±0.1℃。・冷却能力UPオプション(HRSHF200-A-20オプションP選択時)。・既存機種からのスムーズな切り替えが可能。・従来と同一の操作性。・冷却能力15kW～30kWまでラインナップ電源三相AC200V(50Hz) 三相AC200～230V(50Hz)冷却方式空冷冷凍式使用冷媒R32(HFC，GWP:675)設定温度(℃)5～35温度制御方式PID制御使用周囲温度(℃)-20～45 (標高:3000m未満)RoHS指令(10物質対応)対応防水性IPX4安定性±0.1℃
