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・シリンダの全範囲で計測可能。 ・シリンダストローク内の任意の位置を原点にできます。 基準面にシリンダのロッドを押し当ててカウンタを リセットすると、その位置が原点になります。 ・液体(水、油、クーラント液等)のかかる環境で使用可能。

・シリンダの全範囲で計測可能。 ・シリンダストローク内の任意の位置を原点にできます。 基準面にシリンダのロッドを押し当ててカウンタを リセットすると、その位置が原点になります。 ・液体(水、油、クーラント液等)のかかる環境で使用可能。

・シリンダの全範囲で計測可能。 ・シリンダストローク内の任意の位置を原点にできます。 基準面にシリンダのロッドを押し当ててカウンタを リセットすると、その位置が原点になります。 ・液体(水、油、クーラント液等)のかかる環境で使用可能。

・シリンダの全範囲で計測可能。 ・シリンダストローク内の任意の位置を原点にできます。 基準面にシリンダのロッドを押し当ててカウンタを リセットすると、その位置が原点になります。 ・液体(水、油、クーラント液等)のかかる環境で使用可能。

ステンレス製コイルカバーを採用し、耐環境性能向上【保護構造IP67】 ボディ材質：SUS、黄銅 耐環境：保護構造 IP67(DINコネクタはIP65) 省スペース。小型：バルブ容積 25% 削減(従来比)、軽量：30% 削減(従来比) 省エネ。コイルの力10%向上(従来比)、消費電力14%削減(従来比) リード線 保護構造 IP67 360°取出し可能

ZFCシリーズ用交換用エレメント

・ワンタッチ着脱。 ・セルフシール機構内蔵。 ・チューブを外した時エアをストップ。 ・銅系不可(無電解ニッケルめっき付)

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・EC指令適合品(CEマーク付) ・電源電圧：単相AC230V(50Hz)

・EC指令適合品(CEマーク付) ・電源電圧：単相AC230V(50Hz)

・EC指令適合品(CEマーク付) ・電源電圧：単相AC230V(50Hz)

・EC指令適合品(CEマーク付) ・電源電圧：単相AC230V(50Hz)

1つのバルブでさまざまなバルブ機能。 (ユニバーサルポーティングタイプ) N.C.仕様、N.O.仕様、デバイダ仕様、セレクタ仕様など。 低濃度オゾン対策品。 従来品との取付寸法互換性あり。

・ペルチェ素子を使った、薬液の直接温調用熱交換器。 ・フッ素樹脂熱交換器で多様な薬液に対応可。 ・UL規格適合、CEマーキング。

・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。

・EC指令適合品(CEマーク付) ・電源電圧：単相AC230V(50Hz)

・空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。 ・レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。 ・コンパクト W377×H615×D500、40kg ・タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。 ・自己診断機能。 ・海外輸出用装置に最適(単相AC200～230V、単相AC100V，115V) ・CEマーキング、ULに適合。

・高精度温調が必要な用途に。 ・ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。 ・シンプルな構造で高信頼性。 ・小型、低振動で装置内への組込みが容易。 ・ワイドな電源電圧に対応可。 ・UL規格適合、CEマーキング。

・高精度温調が必要な用途に。 ・ペルチェ素子による、ノンフロン高精度温調機。 ・シンプルな構造で高信頼性。 ・小型、低振動で装置内への組込みが容易。 ・ワイドな電源電圧に対応可。 ・UL規格適合、CEマーキング。

空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。 レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。 タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。 自己診断機能。 CEマーキング、ULに適合。

・小型設計：80mm×110mm×39mm ・質量：280g ・除電時間1.5秒 ・アラーム機能付き 高電圧異常、電極針汚れ検知機能

・空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。 ・レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。 ・コンパクト W377×H615×D500、40kg ・タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。 ・自己診断機能。 ・海外輸出用装置に最適(単相AC200～230V、単相AC100V，115V) ・CEマーキング、ULに適合。

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。 ・レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。 ・コンパクト W377×H615×D500、40kg ・タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。 ・自己診断機能。 ・海外輸出用装置に最適(単相AC200～230V、単相AC100V，115V) ・CEマーキング、ULに適合。

・空冷機種は簡単な設置、簡単な操作で、どこでも必要な場所に冷却水が得られます。 ・レーザ加工機/分析装置/LCD製造装置/金型温調など幅広い用途に実績多数。 ・コンパクト W377×H615×D500、40kg ・タイマー運転、液面低下、停電復帰、凍結防止機能など。 ・自己診断機能。 ・海外輸出用装置に最適(単相AC200～230V、単相AC100V，115V) ・CEマーキング、ULに適合。

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) 寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) プラグインサブプレートに対応。 プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・冷却設備等の汎用断水、減水リレーなどで使用。 ・3/4B～6Bまでの配管に適用 ・IP42相当、IP44相当に対応。

電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御。 感度：0.2kPa(100kPa仕様) リニアリティ：±1%以内(F.S.) ヒステリシス：0.5%以内(F.S.) 通信：CC-Link， DeviceNet， PROFIBUS DP， RS-232C