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ステンレスダイヤフラム採用【オイルレス(1重ダイヤフラム構造)】、稼働状況・機器状態を可視化し、通信により遠隔監視、遠隔操作が可能

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

・パイロット形/JSXD(N.O仕様)シリーズ追加 ・ステンレス製コイルカバーを採用し、耐環境性能向上 【保護構造IP67/NEMA4X※】※DIN形ターミナルはIP65 ・省スペース 小型：バルブ容積 25% 削減(従来比) 軽量：30% 削減(従来比) ・省エネ コイルの力10%向上(従来比)、消費電力14%削減(従来比) ・リード線 360°取出し可能 ・屋外環境での耐候性向上

・SMCの [ブローガン]+[Sカプラー]+[コイルチューブ] +[パルスブローユニット] でCO2排出量を60%削減・パルスブローユニット付 [New] 繰り返し衝突する断続的なエアブローにより連続ブロー比 除去効率35%向上・適用ノズル：おねじ付ノズル(カバー付可)、銅管ロングノズル(カバー付可)、低騒音ノズル、高効率ノズル、流量調整機能付ノズル・接続種類：ねじ込み式、Sカプラープラグ式、ワンタッチ管継手式・供給圧力の影響を受けない一定の操作力

・供給圧力の影響を受けない一定の操作力 独自のバランスポペット弁構造により、 エア圧力が高い場合でも、低圧時と同じ力で操作することができます。 ・耐衝撃性樹脂を採用 本体ボディには耐衝撃性樹脂を採用。 2mからの落下試験、人による踏みつけ試験において、 割れ、欠け、破損などの不適合なし

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

・直動形真空タイプ/JSX□□V シリーズ追加 ・ステンレス製コイルカバーを採用し、耐環境性能向上 【保護構造IP67/NEMA4X※】※DIN形ターミナルはIP65 ・省スペース 小型：バルブ容積 25% 削減(従来比) 軽量：30% 削減(従来比) ・省エネ コイルの力10%向上(従来比)、消費電力14%削減(従来比) ・リード線 360°取出し可能 ・屋外環境での耐候性向上

12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

DCインバータ冷凍機とインバータポンプでさらに大幅な省エネを実現。冷凍機、ポンプのモータ回転数をお客様装置側負荷に応じてインバータ制御

・工場内循環水との直接熱交換器。 ・冷凍機が要らない温度範囲での温調用。 ・高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロ セス装置に実績多数。 ・UL， SEMI規格適合、CEマーキング。 ・インバータタイプの選択可能。

・フィードバックセンサタイプ ・デュアルAC方式により電位幅低減 25V以下(取付高さ300mm時) ・フィードバックセンサによる高速除電。 ・オートバランスセンサにより調整、メンテ工数を削減。 ・シンプル操作、電源投入するだけで使用可能(スタンダードタイプ) ・リモコン設定可能。 ・渡り配線可能。 ・高速除電カートリッジ、省エネ除電カートリッジを用意。

・直動形真空タイプ/JSX□□V シリーズ追加 ・ステンレス製コイルカバーを採用し、耐環境性能向上 【保護構造IP67/NEMA4X※】※DIN形ターミナルはIP65 ・省スペース 小型：バルブ容積 25% 削減(従来比) 軽量：30% 削減(従来比) ・省エネ コイルの力10%向上(従来比)、消費電力14%削減(従来比) ・リード線 360°取出し可能 ・屋外環境での耐候性向上

・ガイド付ロッドタイプ ・先端横荷重：5倍 ※ロッドタイプ、サイズ25， 100ストロークでの比較 ・すべり軸受、ボールブッシュ軸受に対応 モーメント荷重、ストッパ(すべり軸受)に対応。 ・押当て制御の切替可能 ワーク等にロッドを押し当てた状態での保持が可能

12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

・ロッドタイプ LEYシリーズ ACサーボモータ ・高出力モータ(100W/200W/400W) ・高速搬送能力向上 ・高加速度対応(5，000mm/S2) ・パルス入力タイプ ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・繰返し位置決め精度：±0.02mm以下 ・耐塵・防滴(IP65)仕様 ・対応ドライバ：LECSA，LECSB，LECSC，LECSS

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

・ロッドタイプ LEYシリーズ ACサーボモータ ・高出力モータ(100W/200W/400W) ・高速搬送能力向上 ・高加速度対応(5，000mm/S2) ・パルス入力タイプ ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・繰返し位置決め精度：±0.02mm以下 ・耐塵・防滴(IP65)仕様 ・対応ドライバ：LECSA，LECSB，LECSC，LECSS