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CADデータあり
・ショックを嫌うワークのスピード搬送を実現。
・シンプルな回路で省スペース化を実現。
・クリーンルームClass M3.5(Fed.Std.209E)に対応
クリーンルーム対応形では、リリーフポートからの
排気や真空掃引によって内部の発塵を除去します。
チューブ内径(Φmm)40
作動方式複動
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