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・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・スリーブロック付。 ・プラグ側、ソケット側のどちらからでも流せます。 ・使用流体：空気、水が可能。 ・ワンタッチ接続。 片手操作で簡単接続。作業性が向上。

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 省エネエジェクタ 真空到達時供給エアカット：空気消費量93%削減(メーカー測定条件による) エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) 省エネ効果(金額換算)：93%削減 高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上 供給弁N.O.仕様:ZK2□A-X188/単体、ZK2□A-X211/マニホールド用

・スリーブロック付。 ・プラグ側、ソケット側のどちらからでも流せます。 ・使用流体：空気、水が可能。 ・ワンタッチ接続。 片手操作で簡単接続。作業性が向上。

■透明ケースガードを採用■2層構造でケース全周をカバーし、耐環境性向上

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 省エネエジェクタ 真空到達時供給エアカット：空気消費量 93%削減(メーカー測定条件による) エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) 省エネ効果(金額換算)：93%削減 高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上 供給弁N.O.仕様:ZK2□A-X188/単体、ZK2□A-X211/マニホールド用

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。

・空気圧システムやエアハイドロ回路の制御用。 ・正逆流可能なバランスポペットタイプ。 ・エアオペレート形、外部パイロット電磁形。

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。

F.R.Lコンビネーションの入り口側、出口側に上または下方向の配管が可能です。

接液部材質 ボディ/プレート：PEEK ダイヤフラム：EPDM，FKM，Kalrezより選択可 作動寿命1000万回以上(メーカーテスト条件での値)

・供給弁：N.O.仕様を追加 停電/電源OFF時の真空発生(供給圧が確保されている場合)が可能 停電時のワーク落下を防止(供給圧が確保されている場合) ・省エネエジェクタ 真空到達時供給エアカット：空気消費量 93%削減(メーカー測定条件による) ・エジェクタの効率化により吸込流量50%増加(メーカー1段エジェクタとの比較) ・省エネ効果(金額換算)：93%削減 ・高消音サイレンサの採用で低騒音&吸込流量向上

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。

吸着姿勢の安定化と離脱性が向上 パッド形状：平形溝付、ベロウ形リブ・溝付 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：10、30、50]

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。 ・ダストカバーの材質選択可。

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。

3色表示2画面表示の流量センサ。 温度センサを一体化。 40%小型化(メーカーPF2W比較) IP65対応、ノングリース仕様。 使用流体温度0～90℃ 塩化ビニル製配管タイプ：脱イオン水(純水)薬液に対応。

・残圧排気機能付：安全回路の構築が可能・残圧排気機能なし：一時的な中間停止が可能・設置条件に応じて選べる縦/横形タイプを用意・配管の自由度向上(360°回転式)

・ロータリアクチュエータを駆動源としたため高さ方向の小型化を実現。 ・繰り返し精度 ±0.01mm ・クリーンルームクラス10に対応可。 ・オートスイッチ付(MDHR2シリーズ：MDHR2)

・リニアガイド採用で高剛性・高精度。 ・防塵、防滴構造。