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エジェクタとパッドを一体化設置スペースと配管工数を削減! 2段エジェクタ吸込流量50%増加、空気消費量30%削減 メンテナンス性向上ロックプレートによる着脱でパッド交換時の作業工数を削減! パッド径：Φ63、Φ80

・薄形、ショートボディ、軽量。 ・駆動部(シリンダ部)とガイド部の分離一体構造。

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 高速応答：弁応答5ms、真空応答時間28ms 省エネ：空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上 小型・軽量：46g 真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能

最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意 空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合) 質量最大60%削減[ZL1：180g→ZL112(従来品)：450g] 3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比) 吸込流量250%向上 3種類の真空圧力検出部 工具不要!メンテナンス工数の削減が可能

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 高速応答：弁応答5ms、真空応答時間28ms 省エネ：空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上 小型・軽量：46g 真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能

全幅：9.9mm、全長：72.9mm、全高：52.5mm、質量：50g 可動部設置可能 パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上 マニホールド化可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 高速応答：弁応答5ms、真空応答時間28ms 省エネ：空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上 小型・軽量：46g 真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能

エジェクタシステム/真空ポンプシステムに対応 高速応答：弁応答5ms、真空応答時間28ms 省エネ：空気消費量17%減、到達真空圧力21%向上 小型・軽量：46g 真空用圧力スイッチ付、最大10台まで同時コピー可能

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最大吸込流量100/300/600L/min(ANR)の3タイプを用意 空気消費量90%削減(ZL3、ZL6の場合) 質量最大60%削減[ZL1：180g→ZL112(従来品)：450g] 3段ディフューザ構造採用(ZL1の場合メーカー比) 吸込流量250%向上 3種類の真空圧力検出部 工具不要!メンテナンス工数の削減が可能