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パッド径Φ1.5～Φ16 小形、省スペース、全長短縮 Φ2ワンタッチ管継手、バーブ継手付をラインナップ

12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

傾斜したワークの吸着に適した首振りタイプ パッド径/Φ10～Φ50

・スパッタ発生環境使用可能/難燃性(UL-94規格V-0相当)

パッド径Φ1.5～Φ16 小形、省スペース、全長短縮 Φ2ワンタッチ管継手、バーブ継手付をラインナップ

パッド径Φ1.5～Φ16 小形、省スペース、全長短縮 Φ2ワンタッチ管継手、バーブ継手付をラインナップ

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

・基本シリンダとガイドロッドをコンパクトに一体化。 ・耐横荷重・高精度回り止めを実現した直線移動ユニット。

・ロッドカバー、ヘッドカバー形状変更により質量削減(最大15%削減)。 ・エアクッション制御が容易クッションバルブ調整回転数を1回転から3回転に増加。 ・小型オートスイッチから耐強磁界オートスイッチまで取付可能。 ・設置状況に合った取付支持が可能、取付け自由度の向上。

・基本シリンダとガイドロッドをコンパクトに一体化。 ・耐横荷重・高精度回り止めを実現した直線移動ユニット。

・質量最大15%削減 ・エアクッション制御が容易 ・小型オートスイッチから耐強磁界オートスイッチまで取付可能 ・ロッド先端金具、揺動金具付品番を設定(別途手配する手間が省けます) ・オートスイッチ付(CDA2シリーズ：CDA2，CDA2W)

12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

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・豊富な機種で幅広い用途に対応できます。 ・パッド形状/平形、平形リブ付、薄形、薄形リブ付、深形、ベロウ形 ・パッド径/Φ2～Φ50

12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状 用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり [バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

パッド径Φ1.5～Φ16 小形、省スペース、全長短縮 Φ2ワンタッチ管継手、バーブ継手付をラインナップ

電磁弁付追加[New] 高温タイプに耐熱型2色表示式無接点オートスイッチ追加[New] アルミボディ採用 均一なベーキング温度 軽量・コンパクト アウトガスが少ない 重金属汚染が少ない ベローズ交換が可能