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・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ。

・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ ・排気エア清浄度:ISO Class5(クラス100 Fed.Std.209D)相当 ・安心の2段エレメント構造 第1エレメント油飽和後、2次側に流出する油を第2エレメント捕集。 外部への再飛散を一定期間防止します。