・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ。
・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ
・排気エア清浄度:ISO Class5(クラス100 Fed.Std.209D)相当
・安心の2段エレメント構造
第1エレメント油飽和後、2次側に流出する油を第2エレメント捕集。
外部への再飛散を一定期間防止します。
全幅:9.9mm、全長:72.9mm、全高:52.5mm、質量:50g
可動部設置可能
パッドまでのチューブ長さの短縮により、応答性向上
マニホールド化可能
ノズル口径(Φmm)0.5
エジェクタユニットノズル径(Φmm)0.5
シリンダ内径(Φmm)32
作動方式複動
・バルブ薄形シリンダを一体化。
・省工数、省スペース、省エネルギー。
シリンダ内径(Φmm)32
作動方式複動
シリンダ内径(Φmm)32
作動方式複動
シリンダ内径(Φmm)32
作動方式複動
・バルブ薄形シリンダを一体化。
・省工数、省スペース、省エネルギー。
シリンダ内径(Φmm)32
作動方式複動
シリンダ内径(Φmm)32
作動方式複動
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