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・リニアガイドの剛性向上でテーブル変位量48%低減。 ピッチ方向変位量：48%減(0.31mm→0.16mm)。 ヨー方向変異量：63%減(0.24mm→0.09mm)。 ロール方向変位量：90%減(0.06mm→0.006mm)。・最大標準ストローク150mm(Φ20の場合)。・質量 最大6%削減(194g→182g)。・取付寸法、全長寸法は既存製品MXHシリーズと同等

・理論出力最大1.5倍。・既存CQ22シリーズと同一外形寸法。・多角形状ピストンにより1サイズ上の理論出力を実現。・圧縮空気ラインの低圧化に貢献 供給圧力0.17MPa減。 シリンダ供給圧力を下げても同一理論出力が可能

コンパクトで取付精度の高い角形小形シリンダCUシリーズに真空用通路を ロッドに設け真空パッドの取付けを容易にし、省スペースを実現します 標準真空パッド(Φ2～Φ50)取付可能