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12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

・主弁構造がメタルシール。 ・豊富なサイズバリエーション。 ・中・大型シリンダ駆動用。 ・豊富なマニホールドオプション。 ・制御ユニット対応可能(VFS2000/3000/4000 ベース配管タイプ) ・マニホールド型式：VV5FS1，VV5FS2，VV5FS3，VV5FS4，VV5FS5

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

12サイズ、6種類のパッド形状用途に応じた取付金具の選択が可能 パッド形状：平形、平形リブ付、ベロウ形、薄形、薄形リブ付、深形 取付接続：おねじ、めねじ 真空取出方向：縦、横 真空取付出口：おねじ、めねじ、ワンタッチ管継手、バーブ継手 バッファ：なし、あり[バッファストローク(mm)：6、10、15、20、25、30、40、50]

・コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ。 流体に接する金属は全てSUS316を使用 ・禁油。 油脂類を一切使用しない部品構成 ・2種類のダイヤフラム材質：PTFE、フッ素ゴム。

・テンションコントロール。 ・接圧コントロール。 ・設定感度：0.2%F.S.以内。 ・繰返性±：0.5%F.S.以内。