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・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、 CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、 CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

・スパッタ発生環境使用可能/難燃性(UL-94規格V-0相当)

・ガイドボディ、前プレートをコンパクトにした直線移動ユニット。 ・小形・軽量・省スペース対応。

・ガイドボディ、前プレートをコンパクトにした直線移動ユニット。 ・小形・軽量・省スペース対応。

・マニホールドバルブの増連および仕様変更が容易に可能。 ・ワンサイドソレノイド。 ・4位置デュアル3ポート弁仕様あり。 ・マニホールド型式：SS5V1，SS5V2，SS5V3，SS5V4

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、 CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、 CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、 CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、 CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・カセットタイプ方式でバルブ交換が容易。 ・スイッチ付バルブによりメンテナンスが安全。 ・ベースレス構造の低背形カセットタイプによる省スペースタイプ。 ・マニホールド型式：SS5Z3

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、 CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、 CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、 CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、 CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・マニホールドバルブの増連および仕様変更が容易に可能。 ・ワンサイドソレノイド。 ・4位置デュアル3ポート弁仕様あり。 ・マニホールド型式：SS5V1，SS5V2，SS5V3，SS5V4

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

・薄形9.8mm ・縦方向設置スペース約1/2 (ZSE/ISE30A比較) ・最大10台まで同時コピー可能。 ・3ステップ設定。

・1台で流量を自動調整・乾燥空気， N₂， Ar， CO₂・カラー表示・2画面表示対応 瞬時流量、流量指令値、積算流量などを一目で確認・IO-Linkに対応・レンジアビリティ 100：1・1台で幅広い流量の制御が可能

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

・コンパクト・軽量・外部衝撃に強いチューブを使用。 ・従来のCMシリーズより1.5倍以上の長寿命を実現。 ・オートスイッチ付(CDM2シリーズ：CDM2、CDM2W、CDM2K、CDM2KW、 CDM2R、CDM2RK、CDM2Q、CDM2□□P、CDBM2)

・全波整流器内蔵(ACの場合) ・長寿命：5000万回以上。 ・パイロット弁にストレーナ内蔵。 ・外部パイロット形は真空使用可能。 ・マニホールド型式：VV3P3，VV3P5，VV3P7

・耐摩耗性が向上 ロッドカバーやクレビスの軸受部の耐摩耗性を向上させ、シリンダの長寿命化を計りました。 ・取付け時に工具をカバーに直接かけて作業ができますから取付けが簡単に行うことができます。 ・高速駆動が可能 使用する駆動速度条件によってラバークッションとエアクッションを選べますから、高速の駆動に対応できます。 ●ラバークッション……50～750mm/s (標準装備) ●エアクッション……50～1000mm/s (オプション)