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・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・スペースを取らないコンパクトサイズ ・低流量域での速度制御が容易 ・等質の速度制御が可能 ・ニードル弁抜け止め機構

削減される配管工数とコスト アクチュエータヘ直接ねじ込み装着ですから、継手、チューブが省略でき、配管の工数とコストが削減できます。 自由に設定できる配管方向 スイベルタイプですから取付後配管方向を自由に設定できます。 低流量域での速度制御が容易 等質の速度制御が可能 ニードル弁抜け止め機構

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・スペースを取らないコンパクトサイズ ・低流量域での速度制御が容易 ・等質の速度制御が可能 ・ニードル弁抜け止め機構

FDA適合した材質を使用

・スペースを取らないコンパクトサイズ ・低流量域での速度制御が容易 ・等質の速度制御が可能 ・ニードル弁抜け止め機構

・プッシュロック式によりニードルロックの作業性向上 ・工具不要、ハンドルの大型化 ・メータイン・メータアウトの同時制御が可能 ・シリンダの飛び出し防止、単動シリンダの速度制御が可能 ・ハンドル色によりメータイン、メータアウトの識別が可能 ・軽量化：質量約28%Down ・流量の再現性が向上

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

コンパクト・軽量で優れた流量特性。高さ方向を短縮、コンパクトな装置設計ができます。 チューブ取付方向が360°自由自在。ニードル弁抜け止め機構付。

FDA適合した材質を使用

・油・水・異物などの不純物を除去して、下流のドライヤの機能向上や精密フィルタの エレメント寿命を延長し、機器のトラブルを防止します。

高速応答 コンパクト 大流量 保護構造 省電力 3・5ポートの選択が可能

・豊富な組合せバリエーション。 幅広い流体の制御が可能。 ボディ材質(ブラス/ BC6、SUS)、シール材質(NBR、PTFE、EPDM、FKM)ソレノイドコイル種別(B種、H種)など、 目的に応じて組合せを自由に選択できます。 ・分解、組付は短時間でOK。 ・ねじ、フランジ取付の選択が可能。

・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・3ポート弁と5ポート弁の混合取付け可能。 ・消費電力：0.1W(節電回路付) ・マニホールド型式：SS5YJ3，SS5YJ5，SS5YJ7

・ F.R.L.コンビネーションの入口側、出口側に上下両方向の配管が可能です。・ 省スペース、配管工数削減に最適。・ F.R.L.コンビネーションの入口側、出口側に使用することで、配管を取外すことなく機器の着脱ができ、メンテナンスが容易にでき。ます。

・クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ。

真空機器のトラブルを未然に防止! ろ過度：5、40、80μm 大流量：max.660L/min(ANR) エレメントの洗浄による繰り返し利用が可能 水滴除去が可能 透明ケースガードでケース全周をカバー

・真空機器のトラブルを未然に防止!。・ろ過度：5，40，80μm。・大流量：max.660L/min(ANR)。・エレメントの洗浄による繰り返し利用が可能。・水滴除去が可能。・透明ケースガードでケース全周をカバー

・油・水・異物などの不純物を除去して、下流のドライヤの機能向上や精密フィルタの エレメント寿命を延長し、機器のトラブルを防止します。