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・流量UPでバルブのサイズダウン可能。 省エネ、省スペースに貢献します。 ・消費電力：0.1w(節電回路付)、0.35w(標準) ・寿命 2億回(メタルシール)、7000万回(弾性体シール) ・プラグインサブプレートに対応。 ・プラグイン金属ベース(IP40)/プラグインコネクタ接続ベース(IP67) ・マニホールド型式：SS5Y3，SS5Y5，SS5Y7

・真空機器のトラブルを未然に防止!。・ろ過度：5，40，80μm。・大流量：max.660L/min(ANR)。・エレメントの洗浄による繰り返し利用が可能。・水滴除去が可能。・透明ケースガードでケース全周をカバー

・フレア式コレット構造 ・3重シール構造 ・組付け施工性に優れる ・優れた液置換特性 ・熱ストレスに強い 200℃対応

・チューブの曲げ、変形に強い チューブサポートにより、サイドロードに強い。 ・チューブサイズの変更が可能 レジューサ方式によりボディの変更なくチューブサイズの交換が可能。 レジューサ方式により継手の種類や在庫の削減が可能。 ・ナット締付けが容易 ナット締付けは、継手ボディの端面までねじ込むだけ。 位置合せのゲージ管理が不要。 台形ねじのため、ナットの斜め入れがない。