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小型デジタルマスフローコントローラ：F4Hシリーズ
azbil(旧:山武)￥239,800～税込￥263,780～1個40日以内出荷から61日以内出荷●高応答・高制御性能：0.3 秒応答など、従来機の優れた制御性を継承。 ●小型化：幅28mm、従来比50%の小型化で装置の省スペース化に貢献。 ●RS-485通信(CPL/Modbus)搭載：PLCとプログラムレス接続可能。 ●強力な耐ノイズ性：電源回路と信号回路の絶縁によりノイズの影響を低減。 ●トータルコスト削減：アナログI/O不要で配線量・PLCコスト削減が可能。用途●半導体製造装置のプロセスガス流量制御：高応答・高精度が要求されるガス供給制御に最適 ●一般産業のガス流量自動制御：各種産業ガス(空気・窒素・CO2・H2 など)の正確な流量調整。 ●装置組込み用途(省スペース機器)小型化により分析装置・実験装置・小型製造装置に組込みやすい。 ●IoT・設備監視用途：流量データを通信で監視し、状態診断や予防保全に活用。
