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  • パネルマウントマスフローコントローラ:MPC azbil(旧:山武)

    パネルマウントマスフローコントローラ:MPC

    azbil(旧:山武)
    169,800税込186,780
    1個
    21日以内出荷から111日以内出荷
    ● パネルマウント形マスフローコントローラ:制御盤前面からの操作・設定が可能 ● 質量流量を高精度に制御:ガス流量を設定値に追従させ、安定したプロセスを実現 ● 表示・操作一体型:流量表示、設定、状態確認を本体パネルで完結 ● 装置組込みに最適:半導体・FPD・分析装置などに幅広く採用
    用途● プロセスガス流量制御:成膜、エッチング、洗浄、雰囲気制御 ● 装置用ガス供給制御:半導体・FPD・研究開発装置 ● 分析・試験用途:分析計、評価装置での精密流量制御 ● ガス消費量の安定化:品質ばらつきの低減・再現性向上
  • パネルマウントマスフローコントローラ:MPC用ローダパッケージ azbil(旧:山武)

    パネルマウントマスフローコントローラ:MPC用ローダパッケージ

    azbil(旧:山武)
    87,980税込96,778
    1個
    32日以内出荷
    パネルマウントマスフローコントローラ:MPC用のパソコン設定ツールです。
  • デジタル指示調節計 C1M azbil(旧:山武)

    デジタル指示調節計 C1M

    azbil(旧:山武)
    31,980税込35,178
    1個
    当日出荷
    調節計SDC15の後継機種!簡単に置き換え可能! さらに使いやすく(さらなる性能向上) 一目でわかる(大型液晶表示) すぐにつながる(PLCリンク機能・高速応答)
    特記※【ワケあり】理由ありの返品不可商品になります。詳細は商品状態欄をご確認ください。仕様追加処理なし質量(g)130(専用取付器具含む)規格Pt100 : JIS C 1604-1997、JPt100 : JIS C 1604-1989入力種類(PV)測温抵抗体シリーズSDC形C1M制御方式1.オンオフ制御/2.PID制御構造IP66(前面部)出力点数3点パネルサイズ(mm)48×48電源電圧(V)AC100~240(50/60Hz)制御出力電流指示方式デジタル4桁LCD表示使用周囲温度(℃)-10~55消費電力(VA)8以下指示精度±0.2%FS±1digit付加機能イベントリレー出力3点、CT入力2点、DI2点寸法(縦×横×奥行)(mm)48×48×65イベント種類PV上限、PV下限、PV上下限、偏差上限、偏差下限、偏差上下限などデジタル入力機能:設定値(SP)切替、PID切替、Auto/Manual切替、RUN/READY切替、オートチューニング停止/起動などサンプリング周期(ms)50~500(設定にて変更可能)
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