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主に半導体製造装置 や液晶製造装置(前工程)において 酸、アルカリ系や有機溶剤系の薬液の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うスイッチです。

●アンプ内蔵・光学式の漏液センサ→ 吸紙や電極を使わず、液体の有無を光学的に検出。感度調整不要で安定検出。 ●メンテナンスフリー/復旧が簡単→ 漏液後は検出面を拭き取るだけで復旧可能。ダウンタイムを短縮。 ●薄型・省スペース→ 厚み約10mmで装置内の狭所に設置しやすい。 ●視認性の高い表示灯→ 正常時/異常時をLEDで確認可能。