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関連キーワード
寸法A(mm)7
寸法B(mm)10
寸法C(mm)40
使用圧力900000~1×10-3Pa
リーク量(mbarL/s)10-6(バルブ)、10-7(カプリング)
ベーク温度(℃)60
寸法B(mm)3.9
寸法C(mm)8
寸法C(mm)6
寸法D(mm)2.5
形状ブランキングフランジ
形状ストレート
ハンドル形状ローレット式
使用圧力900000~1×10-3Pa
ベーク温度(℃)60
リーク量(mbarL/s)10-6(バルブ)、10-7(カプリング)
材質(本体)アルミシリコン合金
バルブ種類ダイヤフラムバルブ
用途真空配管部品
材質ステンレス(AISI316L/SUS316L)
RoHS指令(10物質対応)対応
稼働中でもポンプの構成を変える事ができます。
ソケット付きデュアル電圧/デュアル周波数モーターを装備していますので、取り付けが容易です。
接続(吸気・排気口)NW25
寸法A(mm)102
寸法B(mm)123
形状フレキシブルベローズ
クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました。
52dB(A)未満の静音性です。
最長5年の整備間隔により所有コストを低減します。
ユーザーによるチップシールの交換が可能です。
用途分析装置、半導体装置、各種実験装置
仕様サーマルプロテクタ付
寸法(mm)432×265×302.3
電圧(V)100-127、200-240、単相(50/60Hz)
電源AC
吐出口径NW25
騒音値(dB)(50/60Hz)52
吸込口径NW25
ポンプの種類ドライ
ドライポンプ種類スクロール形
寸法B(mm)500
形状フレキシブルパイプライン
オイルの逆流防止機構付です。
ガスバラスト付です。
用途分析装置、半導体装置、各種実験装置、真空冶金など
仕様サーマルプロテクタ付
トラスコ品番775-7760
材質アルミニウム、鋳鉄
寸法(mm)554×239×183
質量(kg)40
電圧(V)三相200
電源AC
到達圧力(Pa)0.1
排気速度(50/60Hz)(L/min)458/550
騒音値(dB)(50/60Hz)57
吸込口径NW25
ポンプの種類油回転
1台
¥549,800
税込¥604,780
10日以内出荷
オイルの逆流防止機構付です。ガスバラスト付です。
用途分析装置、半導体装置、各種実験装置、真空冶金。
仕様サーマルプロテクタ付、2ステージ、ガスバラスト付
材質アルミニウム、鋳鉄
電源AC
吐出口径Φ15mm、BSP3/4
吸込口径NW25
ポンプの種類油回転
アクティブインバーテッドマグネトロンゲージAIMの交換用ボディーチューブアッセンブリです。
AIMボディチューブサービスキットに含まれるパーツを組み込んだ、アッセンブリーパーツです。
アクティブインバーテッドマグネトロンゲージAIMのボディチューブ内部を構成する部品です。
オイルの逆流防止機構付です。低振動、低ノイズです。ガスバラスト付です。
用途分析装置、半導体装置、各種実験装置、真空冶金など。
トラスコ品番456-0761
材質アルミニウム、鋳鉄
全長(mm)489
電源(V)三相200
全幅(mm)158
全高(mm)261
排気速度(L/min)【50Hz】200【60Hz】237
到達圧力(Pa)0.2
騒音値(dB)48
使用油ウルトラグレード19
口径【吸気口径】NW25
1台
¥349,800
税込¥384,780
21日以内出荷
ワイドレンジゲージWRGの交換用ボディーチューブアッセンブリです。
1 ライトリングによる圧力表示
新開発のライトリングにより、 セントラルインターフェイスから離れまた場所でシステムの圧力を確認可能です。
2 コンパクトサイズ
APG100シリーズと比べ、 性能を損なうことなく25% 小型化しています。
3 長くなったフィラメント
独自設計によりフィラメント長の最大化に成功し、 感度の強化によって測定範囲の上限と下限の反応性も
向上しました。
4 内蔵フィルター
内蔵フィルターが測定セルを損傷させる粒子を除去するので、設置すればほぼ保守の必要はありません。
5 幅広い電源に対応
15~48Vの幅広い入力電源は業界最大で、電源を気にすることなくゲージを使用することができます。
6 取り付けが簡単
お客様が一番したくないのがソフトウェアの変更や時間のかかる適格性確認です。 そのため、 Edwardsでは最も一般的な出力に対応したモデルを取り揃えました。これにより、 アップグレードがさらに簡単になっています。
7 デジタル/アナログ
Edwardsのデジタルゲージとアナログゲージは設置面積が同じです。 データ収集/制御の必要性が増した場合、あとから簡単にアップグレードすることができます。
8 セットポイントリレー
Edwardsのゲージとしては初めて専用セットポイントリレーを装備しているので、幅広い連鎖アクションを起動することができます。
用途分析機器
真空で実現できる限界に挑戦しつつ、プロセスを完全に最適化し再現可能にすることが、常に最高を目指す上で重要です。
半導体
使用環境が過酷なことで知られていますが、このような環境でもファブが24時間無休で稼働することが極めて重要です。 そのため、すべての部品を厳しく監視することによって稼働時間の大幅な向上を実現します。
医薬
医薬および医薬関連のすべてのプロセスは、プロセスステップごとに異なった真空度を用いています。 プロセスステップで正確かつ信頼性の高い測定を行うことが一貫した出力を得るのに重要です。
仕様セットポイント:0、1、2 (モデルによる)、過圧限界:10bar、デッドボリューム:3.3cm3、保守チューブと電子機器の交換
材質真空接触部:タングステン/レニウム、ステンレス鋼316Lおよび304L、ガラス、ニッケル、ニッケル鉄合金、 ステンレス鋼302S26
寸法(mm)63×37×37 (対辺寸法)
質量(g)130
フランジNW16/25、DV16CF、 1/8" NPT、 4VCR、 8VCR、 ベアチューブ
規格CE、UKCA
出力シリアル:RS232またはRS485
ケーブル長(m)100
温度(℃)最高ベークアウト(電子機器非接触):150
寸法A(mm)37
精度大気圧~100hPa ±50%100hPa~1×103hPa ±15%1×103hPa~5×10-4hPa ±50%
寸法B(mm)52
寸法C(mm)11
範囲1.8~9.2V
アナログ出力0~10
再現性(%)100~1×103hPaの間で読み値の2
保護等級40
インターフェースワンプッシュ式
測定範囲(hPa)大気圧~5×104(大気圧~3.75×10-4torr)
保護機能内蔵フィルター
コネクタ電気:RJ45/9ピンD-sub
保管温度(℃)-30~70
RoHS指令(10物質対応)対応
関連資料APG200データシート(0.82MB)
インジケータステータス:360°高輝度LEDリング
動作温度範囲(℃)5~60°
供給電圧(V)直流15~48
相対湿度(%RH)31℃まで80%、40℃以上では50まで線形に減少
対応ソフトウェアLabviewドライバー
接点定格直流48V (最大) 500mA
コントローラ互換性:TIC/ADC/TAG
1個
¥89,980
税込¥98,978
92日以内出荷
加圧給油方式の採用により、大気圧から高真空までの運転がスムーズに行えます。精密加工と特殊給油方式により低騒音・低振動です。オイル流量の調節バルブを内蔵しており、高真空だけでなく高圧力時もスムーズな連続運転を実現しています。
電源(V)単相100/200
オイルの逆流防止機構付です。低振動、低ノイズです。ユニークな給油システムです。
用途分析装置、半導体装置、各種実験装置、真空冶金。
仕様サーマルプロテクタ付、2ステージ、ガスバラスト付
材質アルミニウム、鋳鉄
電圧(V)200-220/380-415、3相(50Hz)、200-230/460、3相(60Hz)
電源AC
吐出口径NW25
吸込口径NW25
ポンプの種類油回転
振動・ノイズが極めて低い(48dBA/50Hz)、油回転真空ポンプです。使いやすいモードセレクター(高真空モードとハイスループットモード)とアクセス可能な3ポジションのガスバラストコントロールで、稼働中も含めていつでも好きな時に、ポンプの構成を変える事ができます。高真空モードにすれば油量は少なくなり高真空が得られ、ハイスループットモードにすれば油量が多くなり負荷が小さいので長時間運転が可能になります。ソケット付きデュアル電圧/デュアル周波数モーターを装備しているので取り付けが簡単に行えます。
電圧(V)100/200
電源AC
モーター出力(W)(単相100V/200V兼用)50Hz:450 60Hz:550、初期設定は200Vです。
最大圧力(bar)(アウトレット)0.2、(インレットとガス バラスト)0.5
吐出口径NW25
騒音値(dB)(50/60Hz)48
吸込口径NW25
ポンプの種類油回転
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