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稼働中でもポンプの構成を変える事ができます。 ソケット付きデュアル電圧/デュアル周波数モーターを装備していますので、取り付けが容易です。

クラス最高の真空到達及び排気速度を実現しました。 52dB(A)未満の静音性です。 最長5年の整備間隔により所有コストを低減します。 ユーザーによるチップシールの交換が可能です。

オイルの逆流防止機構付です。 ガスバラスト付です。

オイルの逆流防止機構付です。ガスバラスト付です。

アクティブインバーテッドマグネトロンゲージAIMの交換用ボディーチューブアッセンブリです。 AIMボディチューブサービスキットに含まれるパーツを組み込んだ、アッセンブリーパーツです。

アクティブインバーテッドマグネトロンゲージAIMのボディチューブ内部を構成する部品です。

オイルの逆流防止機構付です。低振動、低ノイズです。ガスバラスト付です。

ワイドレンジゲージWRGの交換用ボディーチューブアッセンブリです。

1 ライトリングによる圧力表示 新開発のライトリングにより、 セントラルインターフェイスから離れまた場所でシステムの圧力を確認可能です。 2 コンパクトサイズ APG100シリーズと比べ、 性能を損なうことなく25% 小型化しています。 3 長くなったフィラメント 独自設計によりフィラメント長の最大化に成功し、 感度の強化によって測定範囲の上限と下限の反応性も 向上しました。 4 内蔵フィルター 内蔵フィルターが測定セルを損傷させる粒子を除去するので、設置すればほぼ保守の必要はありません。 5 幅広い電源に対応 15～48Vの幅広い入力電源は業界最大で、電源を気にすることなくゲージを使用することができます。 6 取り付けが簡単 お客様が一番したくないのがソフトウェアの変更や時間のかかる適格性確認です。 そのため、 Edwardsでは最も一般的な出力に対応したモデルを取り揃えました。これにより、 アップグレードがさらに簡単になっています。 7 デジタル/アナログ Edwardsのデジタルゲージとアナログゲージは設置面積が同じです。 データ収集/制御の必要性が増した場合、あとから簡単にアップグレードすることができます。 8 セットポイントリレー Edwardsのゲージとしては初めて専用セットポイントリレーを装備しているので、幅広い連鎖アクションを起動することができます。

加圧給油方式の採用により、大気圧から高真空までの運転がスムーズに行えます。精密加工と特殊給油方式により低騒音・低振動です。オイル流量の調節バルブを内蔵しており、高真空だけでなく高圧力時もスムーズな連続運転を実現しています。

オイルの逆流防止機構付です。低振動、低ノイズです。ユニークな給油システムです。

振動・ノイズが極めて低い(48dBA/50Hz)、油回転真空ポンプです。使いやすいモードセレクター(高真空モードとハイスループットモード)とアクセス可能な3ポジションのガスバラストコントロールで、稼働中も含めていつでも好きな時に、ポンプの構成を変える事ができます。高真空モードにすれば油量は少なくなり高真空が得られ、ハイスループットモードにすれば油量が多くなり負荷が小さいので長時間運転が可能になります。ソケット付きデュアル電圧/デュアル周波数モーターを装備しているので取り付けが簡単に行えます。