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表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体CO2
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体CO2
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
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表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容表示器付マスフローメータ、ACアダプタ
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、FKM
質量(g)約1200
種類メータ
電源24VDC(±10%)300mA以下
精度±1%F.S.(25℃)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
通信方式RS485
表示器一体型:4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
温度係数±0.1%F.S./℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)5~45
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応答性2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)入口:500
継手1/4SW
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
流量制御範囲2~100%F.S.
電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
関連資料カタログ(0.77MB)
小型で軽量、単電源DC24V駆動のマスフローメータです。
表示器一体型で、瞬時・積算流量表示や、上下アラーム設定等が簡単操作で行えます。
RS485通信機能を標準搭載しています。
仕様【デジタル通信】RS485(MODBUSプロトコル、RTUモード) ID:1~247
電源(V)DC24±10%/100mA以下
耐圧(MPa)1(G)
表示範囲ゼロカット機能不使用時 約-10~125%FS(表示リミッター点滅)
入出力【ニードルバルブ】一次側圧力:0.1MPa/二次側圧力:0MPa(標準)
更新周期(ms)25/50/100/200/500/1000(瞬時流量)
圧力損失が少なく、高安定なローコスト流量計です。
小型化を実現しているため機器組込スペースを取りません。
接続口径Rc1/8(標準) Rc1/4(オプション)等
目盛10:1(有効)
精度±5%FS(計測ポイント)
最高使用温度(℃)60
バルブ無し
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローメータとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。タッチパネル式で簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
マスフローメータとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。タッチパネル式で簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
マスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
小型軽量な表示器付ローコストマスフローメータです。瞬時流量表示、積算流量表示に対応します。流量信号の外部出力が可能です。流量監視用アラーム2点出力ございます。DC24V電源のみで駆動可能です(別売ACアダプタ:PSK-38DSⅡ)。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他、各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
精密流量制御バルブとフローメータを内蔵したガス混合装置で、2種のガスの混合が可能です。
内蔵した定流量ユニットにより、負荷圧変動が生じても安定した混合ガスが一定供給されます。
用途一般工業、食品、バイオ関連など、幅広い用途でご使用いただいております。
使用圧力0.1MPA(G)
表示設定器付マスフローコントローラです。
内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。
専用AC電源アダプタPSK-85により、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様シグナル/0-5V、通信/RS485、校正温度/20℃
流体N2
接続RC1/4
表示器一体型
微少量の液体流量測定が可能であるため、冷却水・洗浄水などの流量監視に最適です。 設置にスペースをとらないシンプル設計です。 FM01シリーズはボディ材質にPPS樹脂を使用しており、軽量かつ・耐久性に優れています。 FM31シリーズはボディ材質にPFAを使用しており、耐薬性に優れています。
測定流体冷却水、洗浄水等
出力4~20mA表示器付
電源電圧12~24VDC
測定精度±3%F.S.以内
再現性±0.5%F.S.以内
耐圧(MPa)1
動作環境0~50℃、5~90%RH(結露なきこと)
流体温度(℃)0~70
防塵防水性能IP64(JIS C0920、防沫構造)
材質(接液部)PPS/ガラス30%混入
Mini-CUBE SERIESは、新たにクリーン・ドライエア発生装置をラインナップに追加しました。窒素・酸素発生装置同様、コンプレッサを内蔵した、超小型ボディーは卓上設置を可能としました。
用途各種分析機器への供給、湿度コントロール、冷凍機への霜付防止。
仕様(エア発生量)10.0NL/min
質量(kg)18
電源電圧AC100~240V(50/60Hz)
寸法(幅W×奥行D×高さH)(mm)310×392×310(ゴム脚含まず)
空気圧力(MPa)0.2
騒音値(dB)50
消費電力(kW)0.1
露点温度(圧力下)-60以下
周囲湿度(%RH)10~80
周囲温度(℃)5~35
供給エア(条件)0.65~0.69MPa ≧15NL/min Max27NL/min Oil Free Dry Air
1台
¥759,800
税込¥835,780
31日以内出荷
少流量用途に開発されたMini-CUBE SERIESは、90%以上の酸素純度に対応し、超小型ボディーは卓上設置を可能としました。また、DCインバーター制御のコンプレッサーを採用し、省エネ機能を標準搭載しました。周辺機器に違和感のない新デザインも特徴で、培養装置・バイオリアクターへの供給、水産向け酸素付加、酸素付加燃焼、オゾン原料として最適なシリーズです。
用途培養装置・バイオリアクターへの供給、水産向け酸素付加、酸素付加燃焼、オゾン原料として。
質量(kg)18
電源電圧AC100~240V(50/60Hz)
寸法(幅W×奥行D×高さH)(mm)310×392×310(ゴム脚含まず)
騒音値(dB)50
消費電力(kW)0.1
周囲湿度(%RH)10~80
ガス圧力(MPa)0.1
周囲温度(℃)5~35
純度(%)90.0以上
大気圧露点(℃)-55以下
供給エア(条件)0.5~0.69MPa ≧15NL/min Max27NL/min Oil Free Dry Air
ガス発生量(NL/min)0.2~2.0
1台
¥759,800
税込¥835,780
61日以内出荷
少流量用途に開発されたMini-CUBE SERIESは、95~99.999%の純度に対応し、超小型ボディーは卓上設置を可能としました。また、DCインバーター制御のコンプレッサーを採用し、省エネ機能を標準搭載しました。周辺機器に違和感のない新デザインも特徴で、分析・培養機器、はんだ付装置への付帯装置として最適なシリーズです。
用途ボンベ代用品、熱処理用、半導体工業用、青果物のCA貯蔵ガス、無酸化シールガス、防爆・防錆ガス、船舶シールガス、合成繊維・溶融紡糸雰囲気ガス
質量(kg)25
電源電圧AC100~240V(50/60Hz)
寸法(幅W×奥行D×高さH)(mm)310×392×310(ゴム脚含まず)
騒音値(dB)55
消費電力(kW)0.3
周囲湿度(%RH)10~80
周囲温度(℃)5~35
大気圧露点(℃)-55以下
オゾンガス発生装置MOZSは、Mini-CUBEシリーズの共通筐体に酸素ガス発生装置部(PSA)と、オゾン発生ユニットを組み込む事を実現しました。
オゾン原料に低露点・高濃度の酸素ガスを用いる、メーカーの既存製品(オゾン発生装置:PZシリーズ)と同様の機器構成を採用し、オゾン発生量 2g/h を業界最小サイズとなっております。
原料を空気とするオゾン発生装置は、オゾン化の副産物として、有害なNOxガスを大量に発生させますが、本装置は低露点の酸素ガスをオゾン化する事により、有害なNOxガスの発生を大幅に減らしたオゾンガスを提供します。
ゴム、樹脂のオゾン劣化試験、化学実験用の酸化促進ガス及び、農業、養殖業界での生産環境の殺菌用等、さまざまな用途にご使用頂けます。
さらにMOZSは従来の機械的なイメージから一転したスタイリッシュなデザインとその優れた特性で、病院、福祉関連施設、ホテル、食品工場、スーパー等において殺菌・脱臭などの様々なニーズにお応えします。
用途化学(酸化プロセス)、排水処理、脱臭(脱色、分解)、クリーニング、綿づめ(脱臭、漂白)、水産(殺菌、浄化)、耐久試験(酸化腐食)、樹脂加工(ラミネート加工)
吐出圧力(MPa)0~0.05
仕様(オゾン発生方式)空冷円筒型、無声放電式、(原料酸素発生方式)PSA方式(O2濃度 90±5%以内 露点-55℃以下)
周囲温度(℃)5~35
周囲湿度(%RH)10~80
寸法(幅W×奥行D×高さH)(mm)310×392×310(ゴム脚含まず)
質量(kg)25
騒音値(dB)55
消費電力(kW)0.3
電源電圧AC100~240V(50/60Hz)
法規適応範囲外で、設置申請等が不要なため、手軽に導入することができます。ボタン1つでガスを発生することが可能です。
用途ボンベの取替え・保管等でお悩みの研究室に!生産ラインに!
露点温度-60℃以下
動作温湿度範囲5~35℃/10~80%RH
超小型ボディのガス発生装置シリーズです。容易に高品質なガスを供給することを可能としました。
また、DCインバータ制御のコンプレッサを採用し省エネ機能を標準搭載しました。スタイリッシュで小さなボディは、どのような設置スペースにもフィットします。
用途分析・培養機器に・はんだ付装置付帯機器に最適です。
露点温度-55℃以下
動作温湿度範囲5~35℃/10~80%RH
炭酸ガス(CO2)用精密ニードルバルブです。流量を精密かつ容易に制御できる様に設計されています。調節ネジ部の回転運動をニードル部では直進運動にかえる構造になっており、ネジのギャップや振動がニードル部に影響する事なく、安定したなめらかな流量制御が可能です。
用途ガス・液体・微少流量域の高精度制御
使用流体炭酸ガス(CO2)
接続口径RC1/4
最大使用圧力(MPa)1.0
調整ねじ約12回転
超小型ボディのガス発生装置シリーズです。容易に高品質なガスを供給することを可能としました。
また、DCインバータ制御のコンプレッサを採用し省エネ機能を標準搭載しました。スタイリッシュで小さなボディは、どのような設置スペースにもフィットします。
用途分析・培養機器に・酸素富化燃焼設備への付帯機器に最適です。
露点温度-55℃以下 at 2NL/min(大気圧)
動作温湿度範囲5~35℃/10~80%RH
ガス圧力(MPa)0.1MPa
流量(NL/min)0.2~2.0
純度(%)90%以上
1台
¥999,800
税込¥1,099,780
61日以内出荷
液体用に開発されたステンレス製定流量弁で、一次側の圧力変動及び、二次側の圧力変動に対しても、液体の流量を一定に制御します。
用途・分析計に
・環境計測機器関連分野に
・液体混合装置に
適合流体水
液体の流量測定・監視に最適な小型カルマン渦流量計です。接液部オールテフロンです。
用途接液部オールテフロン、オーリングレスで、半導体プロセスの液体流量監視に最適です。
適合流体超純水・薬液等液体
規格IP64(JIS C0920、防まつ構造)
電源2~24VDC
精度±3%F.S.(25℃)
使用温度(℃)液体:0~90(凍結、沸騰なきこと)
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
周囲湿度(%RH)5~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)0~50
材質(接液部)New PFA、Super PFA
炭酸ガス(CO2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体炭酸ガス(CO2)
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5~45
最大圧力(kPa)入口:500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体水素ガス(H2)
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5~45
最大圧力(kPa)入口:500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体酸素ガス(O2)
仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10~60
周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5~45
最大圧力(kPa)入口:500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
空気(AIR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体空気(AIR)
ヘリウムガス(HE)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体ヘリウムガス(HE)
アルゴンガス(AR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体アルゴンガス(AR)