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超小型ボディのガス発生装置シリーズです。容易に高品質なガスを供給することを可能としました。 また、DCインバータ制御のコンプレッサを採用し省エネ機能を標準搭載しました。スタイリッシュで小さなボディは、どのような設置スペースにもフィットします。

非回転構造ニードルバルブを採用により超精密な流体制御が可能です。

生産合理化を計り、ローコスト化、短納期化を実現しました。 安定性も高精度タイプと比較しても何ら遜色のない性能を有しています。

MⅡSERIESは、装置の小型化・メンテナンスの向上を追及した装置です。マルチレイアウトパッケージの採用により、設置場所に合わせてパネル面、排気ダクトの向きを選択することが可能です。小型のコンプレッサーを内蔵しておりますので、AC100Vの電源があれば、移動して使用する事が出来ます。

MⅡSERIESは、装置の小型化・メンテナンスの向上を追及した装置です。マルチレイアウトパッケージの採用により、設置場所に合わせてパネル面、排気ダクトの向きを選択することが可能です。小型のコンプレッサーを内蔵しておりますので、AC100Vの電源があれば、移動して使用する事が出来ます。

MⅡSERIESは、装置の小型化・メンテナンスの向上を追及した装置です。マルチレイアウトパッケージの採用により、設置場所に合わせてパネル面、排気ダクトの向きを選択することが可能です。小型のコンプレッサーを内蔵しておりますので、AC100Vの電源があれば、移動して使用する事が出来ます。

自社で正確な混合比率の混合ガスを生産できます。 8インチのタッチパネルの採用により、混合ガスの濃度、流量施一定が簡略化されました。 データロギング、ステップ制御などの付加機能も搭載しています。

各種ガスに対応しており、ご使用のMini-CUBEシリーズ各ガス発生装置の上段にも重ねて設置出来ます。