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マスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体窒素ガス(N2)
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%F.S.
耐圧(MPa)1
保存温度(℃)-10～60
周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)5～45
最大圧力(kPa)入口：500
バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
空気(AIR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体空気(AIR)
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。
安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ熱式巻線センサ
再現性±0.5%FS
耐圧(kPa)980(G)
リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)
表示設定器付マスフローコントローラです。
内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。
専用AC電源アダプタPSK-85により、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様シグナル/0-5V、通信/RS485、校正温度/20℃
流体N2
接続RC1/4
表示器一体型
アルゴンガス(AR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体アルゴンガス(AR)
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローメータとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。タッチパネル式で簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
マスフローメータとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。タッチパネル式で簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
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