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マスフローコントローラ 3660
コフロック￥99,980～税込￥109,978～1個当日出荷から34日以内出荷定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。 安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)材質接ガス部材質：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM(オプション NBR or CR)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS再現性(%)±0.5F.S耐圧(MPa)1(G)接続電気：D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)使用電源+15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA周囲湿度(%RH)許容：10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45入圧(kPa)最大500(G)保存温度範囲(℃)許容：-10～60耐圧(kPa)980(G)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)校正温度(℃)20
温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥83,980税込￥92,3781式11日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ3/8最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)0.3～2.5/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥83,980税込￥92,3781式14日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ1/2最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)2.0～16/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥85,980税込￥94,5781式14日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ3/4最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)5.0～50/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応流量範囲(L/min)5～50温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥65,980税込￥72,5781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ3/4最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)5.0～50/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥65,980税込￥72,5781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±3.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ1最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)10～100/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥85,980税込￥94,5781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±3.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ1最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)10～100/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥62,980税込￥69,2781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ1/2最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)2.0～16/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥62,980税込￥69,2781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ3/8最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)0.4～4.0/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥83,980税込￥92,3781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ3/8最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)0.4～4.0/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥83,980税込￥92,3781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ3/8最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)0.4～4.0/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥83,980税込￥92,3781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA区分液体出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ1/2最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)2.0～16/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥62,980税込￥69,2781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ3/8保護等級IP65最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)0.3～2.5/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥62,980税込￥69,2781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ1/2最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)2.0～16/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当出力信号パルス適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥65,980税込￥72,5781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA区分液体出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ3/4最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)5.0～50/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥83,980税込￥92,3781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA区分液体出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ3/8最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)0.3～2.5/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当出力信号パルス適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥62,980税込￥69,2781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA区分液体出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ3/8最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)0.4～4.0/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥85,980税込￥94,5781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA区分液体出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±3.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ1最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)10～100/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥65,980税込￥72,5781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA区分液体出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±3.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ1最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)10～100/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥65,980税込￥72,5781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA区分液体出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ3/8最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)0.3～2.5/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応温度補正付液体用カルマン渦流量計 MODEL FML-300 SERIES
コフロック￥85,980税込￥94,5781式17日以内出荷温度センサ搭載により流体温度を計測し、温度補正により液温変化による精度誤差軽減します。接液部New PFA(オーリングレス)、コンパクト設計。IP65相当の防水性を有しています。材質New PFA区分液体出力信号出力(流量)：4～20mA、信号出力(温度)：1～5VDC最高使用圧力(MPa)1精度±2.0%F.S.(流体温度：15～60℃)接続部ねじ3/4最大使用圧力(MPa)1流量(L/min)5.0～50/min流体温度(℃)0～90防塵防水性能IP65相当出力信号パルス適合流体水、純水、薬液RoHS指令(10物質対応)対応流量範囲(L/min)5～50
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式32日以内出荷炭酸ガス(CO2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体炭酸ガス(CO2)仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式32日以内出荷窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体窒素ガス(N2)仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.測定方法熱式耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60測定対象気体周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式32日以内出荷酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体酸素ガス(O2)仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック￥219,800～税込￥241,780～1式32日以内出荷水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体水素ガス(H2)仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル：D-sub9ピン両端1m材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.測定方法熱式耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60測定対象気体周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45最大圧力(kPa)入口：500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥129,800税込￥142,7801式52日以内出荷表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)セット内容表示器付マスフローメータ、ACアダプタ材質接ガス部：SUS316L、SUS316、FKM質量(g)約1200種類メータ電源24VDC(±10%)300mA以下精度±1%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.測定方法熱式耐圧(MPa)1接続1/4SW保存温度(℃)-10～60測定対象気体通信方式RS485表示器一体型：4桁7セグメントLED周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)5～45応答性2sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口：500継手1/4SWバルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)流量制御範囲2～100%F.S.電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20Sリークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥179,800税込￥197,7801式52日以内出荷表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM質量(g)約1200種類コントローラ電源24VDC(±10%)300mA以下精度±1%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60通信方式RS485表示器一体型：4桁7セグメントLED周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)5～45動作差圧(kPa)50～300応答性2sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口：500継手RC1/4バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)フルスケール流量500SCCM流量制御範囲2～100%F.S.電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20Sリークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック￥189,800税込￥208,7801式52日以内出荷表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM質量(g)約1200種類コントローラ電源24VDC(±10%)300mA以下精度±1%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.測定方法熱式耐圧(MPa)1接続1/4SW保存温度(℃)-10～60測定対象気体通信方式RS485表示器一体型：4桁7セグメントLED周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)5～45応答性2sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口：500継手1/4SWバルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)流量制御範囲2～100%F.S.電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20Sリークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
