表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
- 用途
- 大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
- 仕様
- ●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)
- セット内容
- 表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ
- 材質
- 接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
- 質量(g)
- 約1200
- 種類
- コントローラ
- 電源
- 24VDC(±10%)300mA以下
- 精度
- ±1%F.S.(25℃)
- センサータイプ
- 熱式巻線センサ
- 再現性
- ±0.5%F.S.
- 耐圧(MPa)
- 1
- 保存温度(℃)
- -10～60
- 通信方式
- RS485
- 表示器
- 一体型：4桁7セグメントLED
- 周囲湿度(%RH)
- 10～90(結露なきこと)
- 温度係数
- ±0.1%F.S./℃(15～35℃)
- 許容周囲温度(℃)
- 5～45
- 動作差圧(kPa)
- 50～300
- 応答性
- 2sec以内(within±2%F.S.)
- 最大圧力(kPa)
- 入口：500
- 継手
- RC1/4
- バルブ種類
- 比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
- フルスケール流量
- 500SCCM
- 流量制御範囲
- 2～100%F.S.
- 電気的接続
- D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
- リークレート(Pa・m3/sec)
- 1×10-8以下
- 内容量
- 1式
関連資料：カタログ(0.77MB)
注意
※流体・流量等の諸条件により、仕様に多数のバリエーションがございます。かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。【型式説明】
8700/8750/8750MC-O-[接続]-[流体]-[最大流量]-[校正温度]
*校正温度：20℃ or 0℃
【MODEL 8700/8750/8750 SERIES 標準仕様】
センサ方式：熱式センサー
最大流量レンジ(N2 換算)：10SCCM～100SLM
精度：FS±1%以内@25℃、FS±1.5%以内@25℃
入口最大圧0.5MPA(G)
耐圧：1.0MPA(G)
許容周囲温度：5～45℃
許容周囲湿度：10～90%RH(結露なきこと)
温度係数：FS±0.1%/℃(15～35℃)、FS±0.2%/℃(15～35℃)
接ガス部材質：ボディ…SUS316、SUS316L
シール材…FKM
接続：RC1/4
アナログ信号：0-5VDC(4-20mAに切替可能)
デジタル通信：RS485
所要電源：DC24V±10% 301mA以下
全14種類を絞り込む
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