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表示器付マスフローコントローラコフロック￥179,800税込￥197,780
1個
当日出荷から34日以内出荷
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。
DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
材質接ガス部：SUS316、SUS316L、磁性ステンレス(MFCのみ)、FKM(オプションNBR or CR)タイプマスフローコントローラ(MC)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS測定方法熱式測定対象気体使用圧力範囲入口最大圧：500kPa(G)許容周囲温度(℃)-10～60
マスフローコントローラ 3660コフロック￥99,980税込￥109,978
1個
当日出荷から34日以内出荷
定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。
安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号：0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)材質接ガス部材質：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM(オプション NBR or CR)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS再現性(%)±0.5F.S耐圧(MPa)1(G)接続電気：D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)使用電源+15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA周囲湿度(%RH)許容：10～90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5～45入圧(kPa)最大500(G)保存温度範囲(℃)許容：-10～60耐圧(kPa)980(G)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)校正温度(℃)20
表示器付ローコストマスフローメータ MODEL 3810DSⅡ SERIES + 専用AC電源アダプタコフロック￥89,980税込￥98,978
1式
27日以内出荷
表示器付ローコストマスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。材質(シール)FKM使用圧力(MPa)0.0～0.5(G)バルブの有無なし測定方法熱式耐圧(MPa)1.0(G)接続RC1/4センサー熱式センサー測定対象気体所要電力DC24V±5% 100mA温度係数FS±0.2%/℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)0～50材質(ボディ)接ガス部：SUS303、PTFE許容湿度(%)30～80(結露なきこと)イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
表示器付ローコストマスフローメータ MODEL 3810DSⅡ SERIES + 専用AC電源アダプタコフロック￥109,800税込￥120,780
1式
27日以内出荷
表示器付ローコストマスフローメータ(ニードルバルブ一体型)です。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。また、ニードルバルブによって流量制御を行うことも可能です。専用AC電源アダプタPSK-3810DSⅡにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。材質接ガス部：SUS303、PTFE、FKM(オプションNBR or CR)材質(シール)FKM使用圧力(MPa)0.0～0.5(G)バルブの有無あり測定方法熱式耐圧(MPa)1.0(G)接続RC1/4センサー熱式センサー測定対象気体所要電力DC24V±5% 100mA温度係数FS±0.2%/℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)0～50材質(ボディ)接ガス部：SUS303、PTFE二次側圧力(MPa)0許容湿度(%)30～80(結露なきこと)イベント出力NPNオープンコレクタ出力2段 最大定格DC30V 50mA
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥129,800税込￥142,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)セット内容表示器付マスフローメータ、ACアダプタ材質接ガス部：SUS316L、SUS316、FKM質量(g)約1200種類メータ電源24VDC(±10%)300mA以下精度±1%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.測定方法熱式耐圧(MPa)1接続1/4SW保存温度(℃)-10～60測定対象気体通信方式RS485表示器一体型：4桁7セグメントLED周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)5～45応答性2sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口：500継手1/4SWバルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)流量制御範囲2～100%F.S.電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20Sリークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800税込￥241,780
1式
32日以内出荷
空気(AIR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体空気(AIR)材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM(オプションNBR or CR)測定方法熱式保存温度(℃)-10～60測定対象気体許容周囲温度(℃)5～45最大圧力(kPa)入口：500
表示器付ローコストマスフローメーター 3810DSIIバルブなしコフロック￥67,980税込￥74,778
1個
18日以内出荷から27日以内出荷
小型軽量な表示器付ローコストマスフローメータです。瞬時流量表示、積算流量表示に対応します。流量信号の外部出力が可能です。流量監視用アラーム2点出力ございます。DC24V電源のみで駆動可能です(別売ACアダプタ：PSK-38DSⅡ)。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他、各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
表示器付ローコストマスフローメーター 3810DSIIバルブありコフロック￥90,980税込￥100,078
1個
17日以内出荷から18日以内出荷
小型軽量な表示器付ローコストマスフローメータです。精密ニードルバルブと一体になっており、流量制御も可能です。瞬時流量表示、積算流量表示に対応します。流量信号の外部出力が可能です。流量監視用アラーム2点出力ございます。DC24V電源のみで駆動可能です(別売ACアダプタ：PSK-38DSⅡ)。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他、各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
表示器付マスフローメータ MODEL 8700 SERIESコフロック￥109,800税込￥120,780
1台
32日以内出荷から34日以内出荷
表示器付マスフローメータ、瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応、専用AC電源アダプタPSK-85でAC100Vによる駆動が可能、流体や流量等の諸条件により多数のバリエーションがあるため、かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。画像は代表画像です。
小型ハンディ質量流量 制御ユニット FLOW COMPO TM 3200MFCコフロック￥399,800税込￥439,780
1個
64日以内出荷
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
小型ハンディ質量流量 制御ユニット FLOW COMPO TM 3660MFCコフロック￥289,800税込￥318,780
1個
42日以内出荷
マスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥189,800税込￥208,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM質量(g)約1200種類コントローラ電源24VDC(±10%)300mA以下精度±1%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.測定方法熱式耐圧(MPa)1接続1/4SW保存温度(℃)-10～60測定対象気体通信方式RS485表示器一体型：4桁7セグメントLED周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)5～45応答性2sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口：500継手1/4SWバルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)流量制御範囲2～100%F.S.電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20Sリークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥129,800税込￥142,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
表示器付マスフローコントローラ MODEL 8700 SERIESコフロック￥169,800税込￥186,780
1台
34日以内出荷
表示器付マスフローコントローラ、瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応、専用AC電源アダプタPSK-85でAC100Vによる駆動が可能、流体や流量等の諸条件により多数のバリエーションがあるため、かならず型式をご確認のうえ、ご選定お願い致します。画像は代表画像です。
表示器付マスフローメータコフロック￥119,800税込￥131,780
1個
34日以内出荷
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。
DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。
ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。
センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。
別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
材質接ガス部：SUS316L、SUS316、FKMタイプマスフローメータ(MM)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS測定方法熱式保存温度(℃)-10～60測定対象気体許容周囲温度(℃)5～45最大圧力(kPa)入口：500
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック￥179,800税込￥197,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号：0～5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4～20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0～5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4～20mA(負荷抵抗300Ω以下)セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ材質接ガス部：SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM質量(g)約1200種類コントローラ電源24VDC(±10%)300mA以下精度±1%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10～60通信方式RS485表示器一体型：4桁7セグメントLED周囲湿度(%RH)10～90(結露なきこと)温度係数±0.1%F.S./℃(15～35℃)許容周囲温度(℃)5～45動作差圧(kPa)50～300応答性2sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口：500継手RC1/4バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)フルスケール流量500SCCM流量制御範囲2～100%F.S.電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20Sリークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
小型ハンディ質量流量 測定ユニット FLOW COMPO TM 3100MFM FCM4000-3100-AIRシリーズコフロック￥359,800税込￥395,780
1個
64日以内出荷
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローメータとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。タッチパネル式で簡単操作可能です。
測定流体AIR
小型ハンディ質量流量 測定ユニット FLOW COMPO TM 3760MFM FCM4000-3760-AIRシリーズコフロック￥249,800税込￥274,780
1個
42日以内出荷
マスフローメータとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。タッチパネル式で簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック￥219,800税込￥241,780
1式
32日以内出荷
アルゴンガス(AR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体アルゴンガス(AR)
