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測定用品
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ブランド:
コフロック
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スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル
コフロック
¥
219,800
税込
¥
241,780
1式
32日以内出荷
窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途
大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
適合流体
窒素ガス(N2)
仕様
●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
セット内容
スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m
材質
接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
電源
15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
センサータイプ
熱式巻線センサ
再現性
±0.5%F.S.
測定方法
熱式
耐圧(MPa)
1
保存温度(℃)
-10~60
測定対象
気体
周囲湿度(%RH)
10~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)
5~45
最大圧力(kPa)
入口:500
バルブ種類
比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
電気的接続
D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
リークレート(Pa・m
3
/sec)
1×10
-8
以下
バリエーション一覧へ(36)
表示器付マスフローコントローラ
コフロック
¥
179,800
税込
¥
197,780
1個
34日以内出荷
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。 DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。 ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。 センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。 別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
材質
接ガス部:SUS316、SUS316L、磁性ステンレス(MFCのみ)、FKM(オプションNBR or CR)
タイプ
マスフローコントローラ(MC)
バルブ形式
比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ
熱式巻線センサ
再現性
±0.5%FS
測定方法
熱式
測定対象
気体
使用圧力範囲
入口最大圧:500kPa(G)
許容周囲温度(℃)
-10~60
バリエーション一覧へ(24)
表示器付マスフローメータ
コフロック
¥
119,800
税込
¥
131,780
1個
34日以内出荷
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。 DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。 ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。 センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。 別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
材質
接ガス部:SUS316L、SUS316、FKM
タイプ
マスフローメータ(MM)
バルブ形式
比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ
熱式巻線センサ
再現性
±0.5%FS
測定方法
熱式
保存温度(℃)
-10~60
測定対象
気体
許容周囲温度(℃)
5~45
最大圧力(kPa)
入口:500
バリエーション一覧へ(24)
マスフローコントローラ 3660
コフロック
¥
99,980
税込
¥
109,978
1個
34日以内出荷
定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。 安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
仕様
●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)
材質
接ガス部材質:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM(オプション NBR or CR)
バルブ形式
比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)
センサータイプ
熱式巻線センサ
再現性
±0.5%FS
再現性(%)
±0.5F.S
耐圧(MPa)
1(G)
接続
電気:D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)
使用電源
+15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mA
周囲湿度(%RH)
許容:10~90(結露なきこと)
許容周囲温度(℃)
5~45
入圧(kPa)
最大500(G)
保存温度範囲(℃)
許容:-10~60
耐圧(kPa)
980(G)
リークレート(Pa・m
3
/sec)
1×10
-8
以下(He 透過含まず)
校正温度(℃)
20
バリエーション一覧へ(24)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック
¥
189,800
税込
¥
208,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途
大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様
●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容
表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ
材質
接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM
質量(g)
約1200
種類
コントローラ
電源
24VDC(±10%)300mA以下
精度
±1%F.S.(25℃)
センサータイプ
熱式巻線センサ
再現性
±0.5%F.S.
測定方法
熱式
耐圧(MPa)
1
接続
1/4SW
保存温度(℃)
-10~60
測定対象
気体
通信方式
RS485
表示器
一体型:4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)
10~90(結露なきこと)
温度係数
±0.1%F.S./℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)
5~45
関連資料
カタログ(0.77MB)
応答性
2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)
入口:500
継手
1/4SW
バルブ種類
比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
流量制御範囲
2~100%F.S.
電気的接続
D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m
3
/sec)
1×10
-8
以下
バリエーション一覧へ(82)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ
コフロック
¥
129,800
税込
¥
142,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途
大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。
仕様
●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)
セット内容
表示器付マスフローメータ、ACアダプタ
材質
接ガス部:SUS316L、SUS316、FKM
質量(g)
約1200
種類
メータ
電源
24VDC(±10%)300mA以下
精度
±1%F.S.(25℃)
センサータイプ
熱式巻線センサ
再現性
±0.5%F.S.
測定方法
熱式
耐圧(MPa)
1
接続
1/4SW
保存温度(℃)
-10~60
測定対象
気体
通信方式
RS485
表示器
一体型:4桁7セグメントLED
周囲湿度(%RH)
10~90(結露なきこと)
温度係数
±0.1%F.S./℃(15~35℃)
許容周囲温度(℃)
5~45
関連資料
カタログ(0.77MB)
応答性
2sec以内(within±2%F.S.)
最大圧力(kPa)
入口:500
継手
1/4SW
バルブ種類
比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)
流量制御範囲
2~100%F.S.
電気的接続
D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20S
リークレート(Pa・m
3
/sec)
1×10
-8
以下
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tr-n5
sc-n5a
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