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小型ハンディ質量流量 制御ユニット FLOW COMPO TM 3660MFC コフロック小型ハンディ質量流量 制御ユニット FLOW COMPO TM 3660MFCコフロック
289,800税込318,780
1個
42日以内出荷
マスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
小型ハンディ質量流量 測定ユニット FLOW COMPO TM 3760MFM FCM4000-3760-AIRシリーズ コフロック小型ハンディ質量流量 測定ユニット FLOW COMPO TM 3760MFM FCM4000-3760-AIRシリーズコフロック
249,800税込274,780
1個
42日以内出荷
マスフローメータとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。タッチパネル式で簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
小型ハンディ質量流量 制御ユニット FLOW COMPO TM 3200MFC コフロック小型ハンディ質量流量 制御ユニット FLOW COMPO TM 3200MFCコフロック
399,800税込439,780
1個
64日以内出荷
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローコントローラとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量制御ユニットです。タッチパネル式でフルスケール設定、流量設定、バルブ開閉など簡単操作可能です。ご要望に応じてAIR以外の流体(N2、H2、He、Ar、O2、CO2他各種ガス)用の製作も可能です。ご相談ください。
測定流体AIR
小型ハンディ質量流量 測定ユニット FLOW COMPO TM 3100MFM FCM4000-3100-AIRシリーズ コフロック小型ハンディ質量流量 測定ユニット FLOW COMPO TM 3100MFM FCM4000-3100-AIRシリーズコフロック
359,800税込395,780
1個
64日以内出荷
F.S.1SCCMの微小流量に対応したハイグレードマスフローメータとリードアウトユニットを内蔵した小型ハンディ質量流量測定ユニットです。タッチパネル式で簡単操作可能です。
測定流体AIR
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル コフロックスタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック
219,800税込241,780
1式
32日以内出荷
アルゴンガス(AR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体アルゴンガス(AR)
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル コフロックスタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック
219,800税込241,780
1式
32日以内出荷
窒素ガス(N2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体窒素ガス(N2)仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10~60周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5~45最大圧力(kPa)入口:500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル コフロックスタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック
219,800税込241,780
1式
32日以内出荷
水素ガス(H2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体水素ガス(H2)仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10~60周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5~45最大圧力(kPa)入口:500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル コフロックスタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック
219,800税込241,780
1式
32日以内出荷
空気(AIR)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体空気(AIR)
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル コフロックスタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック
219,800税込241,780
1式
32日以内出荷
ヘリウムガス(HE)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体ヘリウムガス(HE)
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル コフロックスタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック
219,800税込241,780
1式
32日以内出荷
炭酸ガス(CO2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体炭酸ガス(CO2)仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10~60周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5~45最大圧力(kPa)入口:500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
スタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブル コフロックスタンダード マスフローコントローラ MODEL 3660 SERIES + 専用リードアウトユニット + 専用ケーブルコフロック
219,800税込241,780
1式
32日以内出荷
酸素ガス(O2)用のマスフローコントローラです。内蔵ソレノイドアクチュエータによる流量制御を行います。専用リードアウトユニットCR-400Bを接続することで流量の設定・表示を行うとともに、AC100Vによる駆動が可能です。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体酸素ガス(O2)仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス1MΩ以上)●流量出力信号:0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)セット内容スタンダードマスフローコントローラ、コンパクトリードアウトユニット、メータ用ケーブル:D-sub9ピン両端1m材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM電源15VDC(±5%)100mA、-15VDC(±5%)250mAセンサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10~60周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)許容周囲温度(℃)5~45最大圧力(kPa)入口:500バルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)電気的接続D-sub9ピン KFC standard(SEMI standard準拠)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラ コフロック表示器付マスフローコントローラコフロック
179,800税込197,780
1個
34日以内出荷から36日以内出荷
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。 DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。 ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。 センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。 別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローコントローラ(MC)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS
表示器付マスフローメータ コフロック表示器付マスフローメータコフロック
119,800税込131,780
1個
36日以内出荷
流量を直読できる表示器一体型マスフローコントローラ/メータです。 DC24V単一電源のみで動作し、取付姿勢を選びません。別売のAC電源アダプタを使用すれば、AC100Vで駆動できます。 ハイリフトアクチュエータの採用より、大流量を計測可能です。 センサ発熱部と流体が非接触なので可燃性ガスの流量計測にも対応しています。 別売のフリーケーブルで電源、流量信号(アナログ)、デジタル通信(RS485/232C)各種イベント出力が取合できます。
タイプマスフローメータ(MM)バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS
マスフローコントローラ 3660 コフロックマスフローコントローラ 3660コフロック
99,980税込109,978
1個
36日以内出荷
定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。 安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
バルブ形式比例ソレノイドバルブ(非通電時 閉)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%FS耐圧(kPa)980(G)リークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下(He 透過含まず)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ コフロック表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック
209,800税込230,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体CO2関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ コフロック表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック
149,800税込164,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。適合流体CO2関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ コフロック表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック
209,800税込230,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ コフロック表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック
149,800税込164,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。関連資料カタログ(0.77MB)
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ コフロック表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック
189,800税込208,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローコントローラです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)セット内容表示器付マスフローコントローラ、ACアダプタ材質接ガス部:SUS316L、SUS316、磁性ステンレス、FKM質量(g)約1200種類コントローラ電源24VDC(±10%)300mA以下精度±1%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10~60通信方式RS485表示器一体型:4桁7セグメントLED周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)温度係数±0.1%F.S./℃(15~35℃)許容周囲温度(℃)5~45関連資料カタログ(0.77MB)応答性2sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口:500継手1/4SWバルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)流量制御範囲2~100%F.S.電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20Sリークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタ コフロック表示器付マスフローコントローラ/メータ MODEL 8700SERIES+電源アダプタコフロック
129,800税込142,780
1式
52日以内出荷
表示器付マスフローメータです。質量流量計測による瞬時流量表示に加え積算流量表示にも対応します。RS485通信機能有り、アナログ入出力0-5VDCと4-20mAの切替可能です。専用AC電源アダプタPSK-85CEにより、AC100Vで駆動します。
用途大学、研究所の研究開発用途から、各種分析機器、真空装置の標準採用品として、数多くの実績を持っております。仕様●流量設定信号:0~5VDC(入力インピーダンス100kΩ以上)/4~20mA(入力インピーダンス約250Ω)●0~5VDC(負荷抵抗250kΩ以上)/4~20mA(負荷抵抗300Ω以下)セット内容表示器付マスフローメータ、ACアダプタ材質接ガス部:SUS316L、SUS316、FKM質量(g)約1200種類メータ電源24VDC(±10%)300mA以下精度±1%F.S.(25℃)センサータイプ熱式巻線センサ再現性±0.5%F.S.耐圧(MPa)1保存温度(℃)-10~60通信方式RS485表示器一体型:4桁7セグメントLED周囲湿度(%RH)10~90(結露なきこと)温度係数±0.1%F.S./℃(15~35℃)許容周囲温度(℃)5~45関連資料カタログ(0.77MB)応答性2sec以内(within±2%F.S.)最大圧力(kPa)入口:500継手1/4SWバルブ種類比例ソレノイドバルブ(非通電時閉)流量制御範囲2~100%F.S.電気的接続D-subハーフピッチ20ピンヒロセ電機DX10M-20Sリークレート(Pa・m3/sec)1×10-8以下
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