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高洗浄な製品環境下でのニーズにお応えする、クリーンシステム機器。万全の対策でクリーンルーム内のパーティクル汚染防止に対応します。低発塵0.1μmパーティクル換算でクリーン度JIS ISOクラス5相当。(FED-STD クラス100相当)、シリコンフリー。衝撃値の低減と衝突音を軽減。

空気圧機器をトラブルから守るために各種フィルタ、空気の清浄化と調圧による力のコントロールを実現。5μmエアフィルタとレギュレーをコンパクトに一体化、プリセットマーカ付圧力計を標準装備。

シリンダ径Φ16～50 1/2の取付けスペースに加えて、全長と高さを極力抑えたスリットタイプ。一面配管が可能で配管方向も多彩なポート配置。

シリンダ径Φ16～50 1/2の取付けスペースに加えて、全長と高さを極力抑えたスリットタイプ。一面配管が可能で配管方向も多彩なポート配置。

シリンダ径Φ16～50 1/2の取付けスペースに加えて、全長と高さを極力抑えたスリットタイプ。一面配管が可能で配管方向も多彩なポート配置。

シリンダ径Φ16～50 1/2の取付けスペースに加えて、全長と高さを極力抑えたスリットタイプ。一面配管が可能で配管方向も多彩なポート配置。

シリンダ径Φ16～50 1/2の取付けスペースに加えて、全長と高さを極力抑えたスリットタイプ。一面配管が可能で配管方向も多彩なポート配置。

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シリンダ径Φ16～50 1/2の取付けスペースに加えて、全長と高さを極力抑えたスリットタイプ。一面配管が可能で配管方向も多彩なポート配置。

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圧縮空気の持つエネルギーを、直線運動や搖動などの具体的な力として実現します。シリンダ径Φ10～25 テーブルに一体化された2本のシリンダで、高い不回転精度と位置精度と省スペースを実現。

空気圧機器をトラブルから守るために各種フィルタ、空気の清浄化と調圧による力のコントロールを実現。小形精密レギュレータ、0.001Mpaの感度で圧力を極め細かく設定可能。

圧縮空気の持つエネルギーを、直線運動や搖動などの具体的な力として実現します。シリンダ径Φ10～25 テーブルに一体化された2本のシリンダで、高い不回転精度と位置精度と省スペースを実現。