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色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータのシートタイプです。ラジカル性プラズマ検知に適しています。A4サイズのシート型なので、面内均一性を一目でチェックすることができます。感度は高感度、中感度、低感度の3種類からお選びいただけます。
用途O2をはじめ、N2、Air、CF4、H2、NH3などラジカル性のプラズマ検知用。O2ラジカルに反応するのでUV洗浄・UVオゾン洗浄にもお使いいただけます。
材質【検知部】有機色材、レジン
寸法(mm)(検知部)190×290
材質(本体)PET
本体寸法(mm)210×297×0.2
耐熱温度(℃)100
取扱説明書(0.36MB)
大気圧プラズマ装置に最適化したプラズマインジケータのシートタイプ。色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータです。新規有機色材の開発により、大気圧プラズマのラジカル種に特化した検知性能を実現。A4サイズのシート型なので、面内均一性を一目でチェックすることができます。感度は超高感度、高感度、低感度の3種類からお選びいただけます。
用途プリント配線基板製造/FPD製造/フィルム加工など対面席の大気圧(常圧)プラズマ処理のチェックに適しています。UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。
材質(検知部)有機色材
寸法(mm)(検知部)190×300
材質(本体)クリーンペーパー
本体寸法(mm)210×300×0.2
耐熱温度(℃)100
取扱説明書(0.37MB)
色の変化でプラズマ処理効果を見える化できる画期的なインジケータのシートタイプです。イオン性プラズマ検知に適しています。A4サイズのシート型なので、面内均一性を一目でチェックすることができます。感度は超高感度、高感度、中感度、低感度の4種類からお選びいただけます。
用途Ar，Heなどイオン性のプラズマ検知用。
材質【検知部】有機色材、レジン
寸法(mm)(検知部)190×290
材質(本体)PET
本体寸法(mm)210×297×0.2
耐熱温度(℃)100
取扱説明書(0.36MB)
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