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環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。電気配線コネクタは現合設置時に上向き・横向きと自由に変更可能です。

軸受けやブラケット等を別途設置する必要なく負荷をダイレクトに取り付けるだけで精度よく位置決めができる回転アクチュエータです。簡単にインデックステーブルの装置を作ることができるので、設計工数と組立工数を削減し、生産設備のシンプル化と生産効率UPに貢献します。高精度ベアリングを内蔵しており、割出精度、軸の振れ、面振れが高く、小型部品組立や検査用途に最適です。耐環境性に優れた位置検出器のレゾルバを内蔵しています。バッテリレスアブソリュート仕様のため原点復帰不要で、テーブル上の角度を認識します。便利な4つの標準機構(1．中空穴、2．位置決めピン穴、3．上下インロー、4．アブソリュート式位置検出器)で、設備をシンプル設計にします。工数削減と省スペースに貢献します。豊富なプログラム作成機能で思い通りの動作を実現します。動作の変更が簡単なため、設備・ラインの仕様変更へ柔軟に対応可能です。リユース(再使用)も可能です。新しいAX-Tools(パソコン設定ソフト)で、マウス操作により簡単にプログラムを作成できるビジュアルプログラムモードを追加しました。誰でも、簡単に、直感的な操作で動作プログラムを作成できます。1画面でゲイン調整を完結したり、製品の状態を簡単にモニタすることが可能です。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。

設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。1本の検出チューブにて4点の液面検出が可能なKML60シリーズと1点の液面検出が可能なKML502シリーズの混合搭載が可能なマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。