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水、空気、ガス、油等、多種類の流体を制御するマルチレックスバルブシリーズ。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。

高信頼性：新設計のソフトスプールが信頼性を高めています。長寿命：新開発の耐摩耗性に優れたパッキンの採用により長寿命を実現します。応答性：新開発の特殊パッキンにより、初動時等の応答性が安定します。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。

多種流体にマルチフィットした2ポートの電磁弁です。 各種用途で求められる機能の標準装備し、ひとつのシリーズで多様な流体に対応するバルブです。 長寿命化による廃棄物の削減と省電力化によるCO2排出量の削減により、カーボンニュートラルに貢献します。 耐久回数2000万回を実現しました(CKD社内試験条件にて)。プランジャとウェアリング一体化構造により摺動抵抗を低減し、ドライエアでも一般エアと同等の耐久性を実現しました。 流路部の耐食性を向上させました。構成部品の一体成型により、溶接レスとなっています。 全波整流器搭載コイルを標準装備し、過電流によるコイル焼けと異物の噛み込みによって発生するAC(電流)コイルのうなり音を低減し、省電力化に対応しています。(ACタイプ) 耐圧容器構造を採用し、コイル交換時の外部漏れリスクを削減します。 静音構造をとり、金属音を低減しました。医療設備・研究室など、静かな環境でも安心してご使用いただけます。 コイルが360度回転し、設置に自由度があります。 クリップでコイルをワンタッチ脱着出来るため、メンテナンス性が向上しました。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。

多種流体にマルチフィットした2ポートの電磁弁です。 各種用途で求められる機能の標準装備し、ひとつのシリーズで多様な流体に対応するバルブです。 長寿命化による廃棄物の削減と省電力化によるCO2排出量の削減により、カーボンニュートラルに貢献します。 耐久回数2000万回を実現しました(CKD社内試験条件にて)。プランジャとウェアリング一体化構造により摺動抵抗を低減し、ドライエアでも一般エアと同等の耐久性を実現しました。 流路部の耐食性を向上させました。構成部品の一体成型により、溶接レスとなっています。 全波整流器搭載コイルを標準装備し、過電流によるコイル焼けと異物の噛み込みによって発生するAC(電流)コイルのうなり音を低減し、省電力化に対応しています。(ACタイプ) 耐圧容器構造を採用し、コイル交換時の外部漏れリスクを削減します。 静音構造をとり、金属音を低減しました。医療設備・研究室など、静かな環境でも安心してご使用いただけます。 コイルが360度回転し、設置に自由度があります。 クリップでコイルをワンタッチ脱着出来るため、メンテナンス性が向上しました。

設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。1本の検出チューブにて4点の液面検出が可能なKML60シリーズと1点の液面検出が可能なKML502シリーズの混合搭載が可能なマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。

環境性・安全機能・操作性・信頼性のすべてを備えた高性能5ポート弁の大流量タイプです。4G1・2・3Rシリーズの省電力コイルを4G4へ搭載し4G4Rへリニューアルしました。新しいコイルアクチュエータの採用により、消費電力の低減を実現しました。またオプション『低発熱・省電力タイプ』の選択した場合、連続通電が可能です。手動誤作動防止のため、手動装置は保護カバー付きです。異物トラブルの防止のため、給気フィルタを標準装備しています。またオプション選択で、A・Bポートにフィルタの装備も可能です。