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多種流体にマルチフィットした2ポートの電磁弁です。
各種用途で求められる機能の標準装備し、ひとつのシリーズで多様な流体に対応するバルブです。
長寿命化による廃棄物の削減と省電力化によるCO2排出量の削減により、カーボンニュートラルに貢献します。
耐久回数2000万回を実現しました(CKD社内試験条件にて)。プランジャとウェアリング一体化構造により摺動抵抗を低減し、ドライエアでも一般エアと同等の耐久性を実現しました。
流路部の耐食性を向上させました。構成部品の一体成型により、溶接レスとなっています。
全波整流器搭載コイルを標準装備し、過電流によるコイル焼けと異物の噛み込みによって発生するAC(電流)コイルのうなり音を低減し、省電力化に対応しています。(ACタイプ)
耐圧容器構造を採用し、コイル交換時の外部漏れリスクを削減します。
静音構造をとり、金属音を低減しました。医療設備・研究室など、静かな環境でも安心してご使用いただけます。
コイルが360度回転し、設置に自由度があります。
クリップでコイルをワンタッチ脱着出来るため、メンテナンス性が向上しました。
用途多種流体のON/OFF制御に
保護構造IP65
接続口径(Rc)1/4
作動区分NC(通電時開)形
流体温度(℃)-10~60(凍結のないこと)
耐熱クラスクラス130(B)
取付姿勢自在
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造直動式ポペット構造
弁座漏れ(cm3/min)0.2以下(空気にて)
RoHS指令(10物質対応)対応
耐水圧(MPa)2.1
弁座漏れ(Pa・m3/s He)1.33×10^-6以下
ポート数3
作動方式NO(通電時閉)形
ポート数2
接続口径3/8
接続方式Rc
耐圧力(MPa)25(水圧にて)
弁構造直動式ポペット構造
ポート数2
ポート数5
弁構造直動式ポペット構造
1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar:CO2(8:2))に対応できる小形の流量センサです。
高精度・高応答 繰返し精度:±1%F.S.以内、表示精度:±3%F.S.以内、応答時間:50msec
流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減しました。
双方向での流体計測が可能でタクトタイムの短縮に貢献します。流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能です。
液晶ディスプレイの表示を上下反転することが可能です。
オプション選択により、ブラケット、DINレール、パネルマウントでの取付が可能です。
継手部分はワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから選択可能です。
用途空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスの流量測定に
取付直管導入部不要
保護構造IP40相当(IEC規格)
温度範囲(℃)0~50(結露なきこと)
精度±3%F.S.以内(二次側大気開放)(乾燥空気にて)(保証範囲は「測定流量レンジ」による)
表示4桁+4桁 2色LCD
保存温度(℃)-10~60
消費電流(mA)45以下
単位SI単位系のみ
使用温湿度範囲0~50℃、90%RH以下
保護回路電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護
耐圧力(MPa)1
取付姿勢縦・横自在
耐振動(m/s2)10~150Hz、最大100、XYZ方向、各2時間
温度特性±0.2%F.S./℃以内(15~35℃、25℃基準)(乾燥空気にて)
繰返し精度±1%F.S.以内(二次側大気開放)(乾燥空気にて)
適合流体清浄空気(ISO 8573-1 2010 1.1.1~5.6.2)、圧縮空気(ISO 8573-1 2010 1.1.1~1.6.2)、窒素ガス、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(アルゴン+炭酸ガス)
流れ方向片方向
各種認証EMC指令: EN55011、EN61000-6-2、EN61000-4-2/3/4/6/8
圧力範囲(MPa)-0.09~0.75
応答時間(ms)50以下(応答時間設定OFF時)
多種流体にマルチフィットした2ポートの電磁弁です。
各種用途で求められる機能の標準装備し、ひとつのシリーズで多様な流体に対応するバルブです。
長寿命化による廃棄物の削減と省電力化によるCO2排出量の削減により、カーボンニュートラルに貢献します。
耐久回数2000万回を実現しました(CKD社内試験条件にて)。プランジャとウェアリング一体化構造により摺動抵抗を低減し、ドライエアでも一般エアと同等の耐久性を実現しました。
流路部の耐食性を向上させました。構成部品の一体成型により、溶接レスとなっています。
全波整流器搭載コイルを標準装備し、過電流によるコイル焼けと異物の噛み込みによって発生するAC(電流)コイルのうなり音を低減し、省電力化に対応しています。(ACタイプ)
耐圧容器構造を採用し、コイル交換時の外部漏れリスクを削減します。
静音構造をとり、金属音を低減しました。医療設備・研究室など、静かな環境でも安心してご使用いただけます。
コイルが360度回転し、設置に自由度があります。
クリップでコイルをワンタッチ脱着出来るため、メンテナンス性が向上しました。
用途多種流体のON/OFF制御に
保護構造IP65
作動区分NC(通電時開)形
流体温度(℃)-10~60(凍結のないこと)
耐熱クラスクラス130(B)
取付姿勢自在
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造直動式ポペット構造
弁座漏れ(cm3/min)0.2以下(空気にて)
RoHS指令(10物質対応)対応
耐水圧(MPa)2.1
弁座漏れ(Pa・m3/s He)1.33×10^-6以下
作動方式ラック&ピニオン形
設定不要で導入が容易な液面検出器です。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。従来品より25%軽量化しました。
用途薬液槽の液面検出に。半導体製造、化学プロセスに最適
付属品ハウジング、端子
質量(kg)0.14
使用温度(℃)【供給ガス】5~60
繰返し精度(mm)±1
使用流体【供給ガス】圧縮空気・窒素ガス
チューブ内径(Φmm)【検出チューブ】4
材質(ボディ)PPS
周囲温度(℃)5~60
チューブ長さ(m)5以内
流量(cm3/分)(消費)750以下(使用圧力20kPa時)/(検出)45±10(使用圧力20kPa時)
材質(ダイアフラム)FKM,FFKM
応差(mm)2
応答時間(ms)200以下(使用圧力20kPa、周囲温度24℃、検出チューブ内径Φ4長さ5m時)
多種流体にマルチフィットした2ポートの電磁弁です。
各種用途で求められる機能の標準装備し、ひとつのシリーズで多様な流体に対応するバルブです。
長寿命化による廃棄物の削減と省電力化によるCO2排出量の削減により、カーボンニュートラルに貢献します。
耐久回数2000万回を実現しました(CKD社内試験条件にて)。プランジャとウェアリング一体化構造により摺動抵抗を低減し、ドライエアでも一般エアと同等の耐久性を実現しました。
流路部の耐食性を向上させました。構成部品の一体成型により、溶接レスとなっています。
全波整流器搭載コイルを標準装備し、過電流によるコイル焼けと異物の噛み込みによって発生するAC(電流)コイルのうなり音を低減し、省電力化に対応しています。(ACタイプ)
耐圧容器構造を採用し、コイル交換時の外部漏れリスクを削減します。
静音構造をとり、金属音を低減しました。医療設備・研究室など、静かな環境でも安心してご使用いただけます。
コイルが360度回転し、設置に自由度があります。
クリップでコイルをワンタッチ脱着出来るため、メンテナンス性が向上しました。
用途多種流体のON/OFF制御に
保護構造IP65
作動区分NC(通電時開)形
流体温度(℃)-10~60(凍結のないこと)
耐熱クラスクラス130(B)
取付姿勢自在
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造直動式ポペット構造
弁座漏れ(cm3/min)0.2以下(空気にて)
RoHS指令(10物質対応)対応
耐水圧(MPa)2.1
弁座漏れ(Pa・m3/s He)1.33×10^-6以下
多種流体にマルチフィットした2ポートの電磁弁です。
各種用途で求められる機能の標準装備し、ひとつのシリーズで多様な流体に対応するバルブです。
長寿命化による廃棄物の削減と省電力化によるCO2排出量の削減により、カーボンニュートラルに貢献します。
耐久回数2000万回を実現しました(CKD社内試験条件にて)。プランジャとウェアリング一体化構造により摺動抵抗を低減し、ドライエアでも一般エアと同等の耐久性を実現しました。
流路部の耐食性を向上させました。構成部品の一体成型により、溶接レスとなっています。
全波整流器搭載コイルを標準装備し、過電流によるコイル焼けと異物の噛み込みによって発生するAC(電流)コイルのうなり音を低減し、省電力化に対応しています。(ACタイプ)
耐圧容器構造を採用し、コイル交換時の外部漏れリスクを削減します。
静音構造をとり、金属音を低減しました。医療設備・研究室など、静かな環境でも安心してご使用いただけます。
コイルが360度回転し、設置に自由度があります。
クリップでコイルをワンタッチ脱着出来るため、メンテナンス性が向上しました。
用途多種流体のON/OFF制御に
保護構造IP65
作動区分NC(通電時開)形
流体温度(℃)-10~60(凍結のないこと)
耐熱クラスクラス130(B)
取付姿勢自在
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造直動式ポペット構造
弁座漏れ(cm3/min)0.2以下(空気にて)
RoHS指令(10物質対応)対応
耐水圧(MPa)2.1
弁座漏れ(Pa・m3/s He)1.33×10^-6以下
ポート数5
多種流体にマルチフィットした2ポートの電磁弁です。
各種用途で求められる機能の標準装備し、ひとつのシリーズで多様な流体に対応するバルブです。
長寿命化による廃棄物の削減と省電力化によるCO2排出量の削減により、カーボンニュートラルに貢献します。
耐久回数2000万回を実現しました(CKD社内試験条件にて)。プランジャとウェアリング一体化構造により摺動抵抗を低減し、ドライエアでも一般エアと同等の耐久性を実現しました。
流路部の耐食性を向上させました。構成部品の一体成型により、溶接レスとなっています。
全波整流器搭載コイルを標準装備し、過電流によるコイル焼けと異物の噛み込みによって発生するAC(電流)コイルのうなり音を低減し、省電力化に対応しています。(ACタイプ)
耐圧容器構造を採用し、コイル交換時の外部漏れリスクを削減します。
静音構造をとり、金属音を低減しました。医療設備・研究室など、静かな環境でも安心してご使用いただけます。
コイルが360度回転し、設置に自由度があります。
クリップでコイルをワンタッチ脱着出来るため、メンテナンス性が向上しました。
用途多種流体のON/OFF制御に
保護構造IP65
作動区分NC(通電時開)形
流体温度(℃)-10~60(凍結のないこと)
耐熱クラスクラス130(B)
取付姿勢自在
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造直動式ポペット構造
弁座漏れ(cm3/min)0.2以下(空気にて)
RoHS指令(10物質対応)対応
耐水圧(MPa)2.1
弁座漏れ(Pa・m3/s He)1.33×10^-6以下
多種流体にマルチフィットした2ポートの電磁弁です。
各種用途で求められる機能の標準装備し、ひとつのシリーズで多様な流体に対応するバルブです。
長寿命化による廃棄物の削減と省電力化によるCO2排出量の削減により、カーボンニュートラルに貢献します。
耐久回数2000万回を実現しました(CKD社内試験条件にて)。プランジャとウェアリング一体化構造により摺動抵抗を低減し、ドライエアでも一般エアと同等の耐久性を実現しました。
流路部の耐食性を向上させました。構成部品の一体成型により、溶接レスとなっています。
全波整流器搭載コイルを標準装備し、過電流によるコイル焼けと異物の噛み込みによって発生するAC(電流)コイルのうなり音を低減し、省電力化に対応しています。(ACタイプ)
耐圧容器構造を採用し、コイル交換時の外部漏れリスクを削減します。
静音構造をとり、金属音を低減しました。医療設備・研究室など、静かな環境でも安心してご使用いただけます。
コイルが360度回転し、設置に自由度があります。
クリップでコイルをワンタッチ脱着出来るため、メンテナンス性が向上しました。
用途多種流体のON/OFF制御に
保護構造IP65
作動区分NC(通電時開)形
流体温度(℃)-10~60(凍結のないこと)
耐熱クラスクラス130(B)
取付姿勢自在
雰囲気腐食性ガス、爆発性ガスのない場所
弁構造直動式ポペット構造
弁座漏れ(cm3/min)0.2以下(空気にて)
RoHS指令(10物質対応)対応
耐水圧(MPa)2.1
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