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ロボット先端ツールをロボット自身で自動交換します。ツール側です。ロボットの負荷を軽減するため、大幅な小形、軽量化を実現しました。最小1kg可搬～最大300kg可搬の全11サイズのバリエーションで小形から大形、様々なサイズのロボットに対応します。段取り替え工数を大幅に削減します。複数ワークのハンドリングや複数の作業がロボット1台で可能になり、生産性向上に貢献します。スプリングテンション式の位置決めピンにより、常にガタつきの無い高精度な連結を実現します。繰返し精度は±0.003mmです。テーパーカムのくさび効果により鋼球を強力に押し付け連結します。メーカーCHCシリーズと比較し連結軸力は最大5倍です。エアダウン時も鋼球は位置を保持し、ツールの落下を防ぐ落下防止機能付きです。(※KHBC-001Rは除きます)スプリングの反力により、質量の軽いツールでも確実に分離し、安定作動します。12種類の多彩なモジュールオプションが選択可能です。標準装備のエア配管に加え、様々な電気・エアの接続が可能です。

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設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。

多種流体にマルチフィットした3ポートの電磁弁です。各種用途で求められる機能を標準装備し、ひとつのシリーズで多様な流体に対応するバルブです。長寿命化による廃棄物の削減と省電力化によるCO2排出量の削減により、カーボンニュートラルに貢献します。ドライエアでも一般エアと同等の耐久性を実現しました。流路部の耐食性を向上させました。構成部品の一体成型により、溶接レスとなっています。耐圧容器構造を採用し、コイル交換時の外部漏れリスクを削減します。静音構造をとり、金属音を低減しました。医療設備・研究室など、静かな環境でも安心してご使用いただけます。コイルが360度回転し、設置に自由度があります。クリップでコイルをワンタッチ脱着出来るため、メンテナンス性が向上しました。

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