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1台で空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガス(混合比Ar：CO2(8：2))に対応できる小形の流量センサです。 高精度・高応答 繰返し精度：±1%F.S.以内、表示精度：±3%F.S.以内、応答時間：50msec 流路の再設計により従来品に比べ最大50%の圧力損失を低減しました。 双方向での流体計測が可能でタクトタイムの短縮に貢献します。流れ方向を順方向、双方向、逆方向の3つから任意に設定可能です。 液晶ディスプレイの表示を上下反転することが可能です。 オプション選択により、ブラケット、DINレール、パネルマウントでの取付が可能です。 継手部分はワンタッチ式エルボ、ワンタッチ式ストレート、ねじ込み式エルボ、ねじ込み式ストレートの4つから選択可能です。

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設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。

高分子分離膜を使用したエアドライヤです。空気圧源に直結するだけの手軽さです。電気を一切使用せず膜の分離機能のみで、湿潤空気から水分を除去し、乾燥空気として供給します。オゾン層を破壊しないノンフロンドライヤです。小形ながら質・量ともに余裕のある除湿能力で装置への内蔵に適しています。可動部がないため、長期にわたりクリーンな乾燥エア供給が可能です。振動・排熱・電源ノイズ・衝撃音・発塵など、従来のエアドライヤが持つ不快な要素を排除しました。

多種流体にマルチフィットした3ポートの電磁弁です。各種用途で求められる機能を標準装備し、ひとつのシリーズで多様な流体に対応するバルブです。長寿命化による廃棄物の削減と省電力化によるCO2排出量の削減により、カーボンニュートラルに貢献します。ドライエアでも一般エアと同等の耐久性を実現しました。流路部の耐食性を向上させました。構成部品の一体成型により、溶接レスとなっています。全波整流器搭載コイルを標準装備し、過電流によるコイル焼けと異物の噛み込みによって発生するAC(電流)コイルのうなり音を低減し、省電力化に対応しています。耐圧容器構造を採用し、コイル交換時の外部漏れリスクを削減します。静音構造をとり、金属音を低減しました。医療設備・研究室など、静かな環境でも安心してご使用いただけます。コイルが360度回転し、設置に自由度があります。クリップでコイルをワンタッチ脱着出来るため、メンテナンス性が向上しました。

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多種流体にマルチフィットした3ポートの電磁弁です。各種用途で求められる機能を標準装備し、ひとつのシリーズで多様な流体に対応するバルブです。長寿命化による廃棄物の削減と省電力化によるCO2排出量の削減により、カーボンニュートラルに貢献します。ドライエアでも一般エアと同等の耐久性を実現しました。流路部の耐食性を向上させました。構成部品の一体成型により、溶接レスとなっています。全波整流器搭載コイルを標準装備し、過電流によるコイル焼けと異物の噛み込みによって発生するAC(電流)コイルのうなり音を低減し、省電力化に対応しています。耐圧容器構造を採用し、コイル交換時の外部漏れリスクを削減します。静音構造をとり、金属音を低減しました。医療設備・研究室など、静かな環境でも安心してご使用いただけます。コイルが360度回転し、設置に自由度があります。クリップでコイルをワンタッチ脱着出来るため、メンテナンス性が向上しました。

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