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設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。

一般形タイロッドシリンダの中口径シリーズです。バリエーションが豊富であり、CKD独自のパッキン構造採用により、長寿命、高信頼性のシリンダです。両エンドカバー、ピストン、さらにチューブと主要パーツにアルミ材を採用し、軽量化と耐蝕性および耐衝撃性を向上させました。支持金具の取付に互換性があり、簡単に変更ができ、在庫管理が容易になります。磁石を標準装備しており、目的に合った検出スイッチをそのまま取り付けるだけで、スイッチ付きシリンダに変更可能です。

一般形タイロッドシリンダの中口径シリーズです。バリエーションが豊富であり、CKD独自のパッキン構造採用により、長寿命、高信頼性のシリンダです。両エンドカバー、ピストン、さらにチューブと主要パーツにアルミ材を採用し、軽量化と耐蝕性および耐衝撃性を向上させました。支持金具の取付に互換性があり、簡単に変更ができ、在庫管理が容易になります。磁石を標準装備しており、目的に合った検出スイッチをそのまま取り付けるだけで、スイッチ付きシリンダに変更可能です。

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