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設定不要で導入が容易な液面検出器のマニホールドタイプです。供給ポートは”上下左右”方向自在、プラグ施工箇所を減らし(7→3箇所)作業性を改善しました。ブロック連結構造の採用により連数変更が可能になりました。純水・酸・アルカリ・溶剤など多種流体の液面レベルを高精度で検知し電気信号で出力します。薬液槽の液面検出に適したエア方式で、薬液雰囲気による腐食や引火の心配がありません。接液部は検出チューブのみで、本体は薬液から離して設置できるため、腐食・防爆対策が容易です。蒸気、飛沫、雫、温度、薬液(刺激臭、引火性、腐食性)の影響を受けないため、対策費用が抑えられ、設置も簡単です。コンパクトなため、槽付近の場所を取らずにウェハなどの搬入・搬出の障害になりません。常時エアを検出チューブから出しているため薬液雰囲気の逆流を防止します。ダイアフラムの耐久性を向上させ、100万回動作保証です。

欧州規格に対応したメタルフリーの小形薬液用3ポート電磁弁です。接液部材質は、ボディ材質がPEEK(樹脂材)、シール材質がFKM(ゴム材)を採用し、高耐食なメタルフリー構造です。1000万回の高寿命です。(メーカー試験条件による)。内部容積が19μlで、電磁弁内部の洗浄が容易です。試薬などの無駄も削減できます。使用圧力範囲を-0.08～0.2MPaに拡大しました。(従来品：-0.05～0.1MPa)。省エネ対応として、省電力基板を標準搭載し、装置の消費電力削減に貢献します。10mm巾の薄形設計で、超小形、省スペースです。バルブピッチ11mmで設置可能です。CEマーキングに対応しています。

耐圧防爆構造・爆発等級2・発火度G4です。JISの防雨構造に準拠、屋外使用が可能です。

水・空気・ガス・油など多種類の流体を制御するマルチレックスバルブの防爆仕様です。